详细介绍
能对应200 mm晶圆和FPD玻璃基板的电动型号（反射透射兼用）
能够应对从明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时亮度光圈连动能进行自动调节。这些功能实现了快速舒适的检查环境。
半导体/FPD检查显微镜 MX61
| 晶圆（明视场观察） | 晶圆（暗视场观察） |
| 晶圆（微分干涉观察） | 彩色滤色片（透射观察） |
半导体／FPD检查显微镜 MX61 规格 | |||
光学系统 | UIS2光学系统（无限远校正） | ||
机身 | 观察方法 | 明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光 | |
反射/透射 | 反射/透射 | ||
照明装置 | 机身一体型（明视场，暗视场＋1选件） | ||
照明系统 | 反射照明 | 100 W卤素/100 W水银/75 W氙 | |
透射照明 | 纤维光导 | ||
对焦单元 | 电动/手动 | 手动 | |
行程 | 32 mm | ||
分辨率/微调灵敏度 | 微调旋钮转动1周移动0.1 mm | ||
zui大样本高度 | 30 mm | ||
物镜转换器 | 电动型 | 明视场微分干涉6孔 | |
手动式 | - | ||
载物台 | 行程 | 8×8 英寸右下手柄：210（X）×210（Y）mm（透射照明范围189×189 mm） | |
观察筒 | 广角视场（视场数22） | 倒置 | 双目/三目观察筒 |
正像 | 三目观察筒 | ||
超宽视场（视场数26.5） | 倒置 | 三目观察筒 | |
正像 | 倾斜三目观察筒 | ||
附件单元 | DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载 | ||
外形尺寸 | 509（W）×843（D）×507（H）mm（标准组合） | ||
重量 | 40 kg（标准组合） | ||
产品优势
能对应150 mm晶圆／FPD玻璃基板的手动操作型号（反射透射兼用）
对应从明视场观察到荧光观察的多种观察方法。高度的扩展性能可以对应不同的样品，性价比优异。
对应从明视场观察到荧光观察的多种观察方法。高度的扩展性能可以对应不同的样品，性价比优异。
