详细介绍
半导体产业蚀刻清洗专用的聚氯乙烯制通风柜
特点
•可以在通风柜下台装入恒温水循环装置进行使用。
•内、外装都是使用硬质聚氯乙烯，最适合使用酸、碱等的蚀刻清洗。
•通过采用阻流板可以很好的排出比重较大的气体。
共通规格
规格
机型一览表
特点
•可以在通风柜下台装入恒温水循环装置进行使用。
•内、外装都是使用硬质聚氯乙烯，最适合使用酸、碱等的蚀刻清洗。
•通过采用阻流板可以很好的排出比重较大的气体。
共通规格
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内外装 |
硬质聚氯乙烯材料 5mm厚 |
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操作台面（选定） |
硬质聚氯乙烯材料 5mm厚 |
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门 |
透明聚氯乙烯材料 5mm厚 |
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水栓 |
120型：2个（自来水、纯水用各1个） 150/180型：4个（自来水、纯水用各2个） |
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插座 |
AC220V 10A，2个 |
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荧光灯 |
120/150型30W、180型40W各一个 |
规格
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型号 |
FHV-120 |
FHV-150 |
FHV-180 |
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外形尺寸 |
深×高 |
750×1850mm |
||
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宽 |
1200mm |
1500mm |
1800mm |
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重量 |
约200kg |
约230kg |
约250kg |
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排气风量 |
10m3/min |
13m3/min |
15m3/min |
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机内静压（推荐值） |
50Pa（5mmH2O） |
59Pa（6mmH2O） |
40Pa（4mmH2O） |
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机型一览表
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无排风机 |
FHV-120 |
FHV-150 |
FHV-180 |
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有排风机 |
FHV-120B |
FHV-150B |
FHV-180B |
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陶瓷钢板（K） |
FHV-120K |
FHV-150K |
FHV-180K |
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