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英国SPTS 蒸发HF刻蚀 SPTS UEtch价格：面议- 品牌： 英国SPTS
- 型号：SPTS UEtch
- 产地：英国
通过无水乙醇的催化作用，HF气体与SiO2反应生成可挥发的产物SiF4和气态H2O，并通过真空排风抽走。整个反应过程不生成液态水，避免了液体对悬空微纳结构的粘连，从而可以成功释放悬空的微纳米结构。主要...
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英国 SPTS深硅刻蚀机/等离子刻蚀机价格：面议- 品牌： 英国SPTS
- 型号： SPTS-01
- 产地：英国
SPTS能为客户提供一系列的先进的工艺，比如功率MOSFET和200mm和300mm晶圆上的高端封装（3D封装和芯片级封装）。
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英国SPTS
SPTS Technologies是KLA的一家公司，设计，制造，销售和支持蚀刻，PVD，CVD和MVD资本设备，为半导体和微电子行业提供先进的晶片处理技术和解决方案。终端应用包括微机电系统（MEMS），先进封装，LED，高速RF器件IC和功率半导体。
