摘要:自动实现标准6寸、8寸盘背光、表面光的自动拼接及识别,并实现缺陷判断。
云太基掩膜测量仪是在智能测量仪版本上细分的针对掩膜、晶圆开发的标准机,可实现标准6寸、8寸盘背光、表面光的自动拼接及识别,并实现缺陷判断。
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