详细介绍
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• 加厚铝合金底座，基准面精密磨削，保证整体性能稳定
• 内置进口超高精密光栅尺，闭环分辨率可达0.1μm
• 进口超高等级滚珠丝杠，超高定位精度
• 进口超高等级交叉滚枉导轨，超高运动性能
• 标配三相步进电机，有效降低电移台运行时的振动和噪音
| 型号 | M-SHP-50-X | M-SHP-100-X | M-SHP-150-X | M-SHP-150-X | ||
| 行程(mm) | 50 | 100 | 150 | 200 | ||
| 滚珠丝杠导程(mm) | 4 | |||||
| 电机型号 | FHB366-D(三相) | |||||
| 闭环分辨率(μm) | 0.1 | |||||
| ZD速度(mm/s) | 40 | |||||
| 重复定位精度(μm) | ＜2 | |||||
| 回程间隙(μm) | ＜1 | |||||
| 运动直线度(μm) | ＜6 | ＜10 | ||||
| 运动平直度(μm) | ＜6 | ＜10 | ||||
| 自重(Kg) | 8.5 |
| 10.5 | 13.5 15 | ||
| ZX负载(Kg) | 30 | |||||
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仪企号
上海波铭科学仪器有限公司
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