STACIS最初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备,现已成为嘈杂环境(包括但不限于半导体工厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中心)中敏感仪器的行业标准解决方案。
STACIS III包括一个全新的改进型数字控制器DC-2020。这款全新的高级控制系统在前后面板上采用了新的双核处理器、以太网以及USB串行端口,为用户提供了现代化且易于使用的图形用户界面(GUI)。STACIS在quan球已拥有数百个成功的安装案例,是理想的隔振系统,适用于对振动zui为敏感的仪器。
STACIS III的优势-
STACIS比空气隔振器硬数百倍,没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软”悬架,与主动空气系统不同,STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方,使两个系统都在ZUI佳状态下运行。
独特的串行设计和专有的高力压电技术
可实现0.6 Hz至150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90%的主动隔振性能。
性能
使用VC-C(500μ英寸/秒,12.5μ米/秒RMS)的模拟振动来测试4500磅(2045千克)有效载荷
规格 性能规格
主动自由度 | 6 |
主动带宽 | 0.6 Hz - 150 Hz |
被动固有频率 | 18 Hz垂直和水平 |
有效的主动共振频率 | 0.5 Hz |
1 Hz时的隔振 | 40% - 70% |
≥2 Hz时的隔振 | ≥90% |
10磅(4.5千克)步进输入后的稳定时间(减少10:1) | 0.3秒 |
内部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
每个隔振器的工作负载范围 | 低承重能力:400 - 1100磅(182 - 500千克) |
刚度(1000磅/ 454千克质量、中等承重能力隔振器) | 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米) |
从距离隔振器zui大4英寸(102毫米)处发射的磁场 | <0.02 μG broadband RMSd> |
隔振器设计、尺寸、环境和效用要求
环境和安全 | 符合CE和RoHS标准 |
主动隔振元件 | zui小承重能力为3300磅(1500千克)的压电致动器接收来自高压放大器的信号,其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷 |
被动隔振元件 | 单个硬质各向同性弹性体(无需压缩空气源) |
振动传感器元件 | 向下的地震检波器型惯性传感器,用于测量隔振器下方的地面振动,并提供与振动运动速度成正比的电压 |
主动反馈控制回路 | 在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动 |
隔振器尺寸(宽x深x高) | 11.75 x 12.5 x 10.8英寸 |
隔振器重量 | 75磅(34千克) |
工作温度 | 50° - 90° F |
储存温度 | -40° - 130° F |
湿度 | 80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C |
系统电源要求 | 100、120、230、240 VAC |
地面位移 | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
每个系统的隔振器数量 | 至少3个 |
可选附件 | 层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩 |
DC-2020控制器规格
尺寸(宽x深x高) | 19 x 8.5 x 1.75英寸 |
重量 | 6.3磅(2.9千克) |
处理器 | 150/75 MHz双核 |
采样率 | 10 kHz |
模拟输出 | 16个通道 |
模拟输入 | 16个通道 |
状态灯 | 单个LED |
前面板端口 | 1个串行USB 2.0 |
后面板端口 | 1个串行USB 2.0 |
用户界面 | 前面板液晶显示屏 |
应用说明
https://www.techmfg.cn/products/stacis/stacisiii
应用照片