湿氧恒温柜高温工艺湿氧解决方案

　　湿氧恒温柜

　　用户手册

　　一、设备简介

　　1.1型号含义

　　型号：FHWG-JWG6P

　　含义：F福雪莱；HWG恒温柜；JW加温；G光电检测液位；6P六个源瓶槽位

　　1.2柜体结构图

　　1.3主要功能

　　1.3.1为机台做工艺提供湿氧（湿氧工艺）

　　说明：

　　1、装有一定量超纯水的源瓶水温加热到设定温度并恒温后，炉管方可做工艺；

　　2、工艺用氧气先通入瓶内水底鼓泡后再进入炉管反应室。（如下图）

　　1.3.2源瓶加热与恒温

　　说明：

　　1、由PLC、温控器、温度探头、固态继电器、发热组件、源瓶液位计等完成控制；

　　2、源瓶开关打开后(即自动运行)，如瓶内水量达到低液位则加热直到设定温度并恒温；

　　3、加热异常、恒温异常、温度探头异常、温度异常均报警输出。

　　1.3.3源管道伴热与恒温

　　说明：

　　1、由PLC、温控器、温度探头、固态继电器、伴热带等完成控制；

　　2、源瓶开关打开后(即自动运行)，如瓶内水量达到低液位则加热直到设定温度并恒温；

　　3、加热异常、恒温异常、温度探头异常、温度异常均报警输出。

　　1.3.4源瓶液位监测

　　说明：

　　1、每个源瓶均安装有高、低光电液位计（位置可调）；

　　2、正常使用时液位为低液位至高液位之间；

　　3、液位低于低液位为异常并报警输出。

　　1.3.5源瓶压力监测及保护

　　说明：

　　1、每个源瓶均安装有泄压阀及压力传感器；

　　2、当源瓶内压力≥设定压力时，自动打开泄压阀泄压；

　　3、当源瓶内压力持续≥设定压力时，压力异常报警输出。

　　1.3.6源瓶定时换水

　　说明：

　　1、每个源瓶内的水都可以通过设定时间周期性换水；

　　2、换水时需要满足条件：自动运行+定时时间已到+工艺刚结束；

　　3、换水时需要先将瓶内原水排干，利用氮气加快地排水及吹扫；

　　4、源瓶排水的同时打开超纯水过水阀进行水质检测；

　　5、每次换完水自动重新计时；

　　6、水质检测合格后，方可往源瓶灌水。

　　1.3.7源瓶漏水监测

　　说明：

　　1、柜内源瓶分两层放置，每层3个，每层一个接水盘，上下接水盘串接后引管到蓄水池；

　　2、接水盘管道上安装非接触式液位计；

　　3、当源瓶漏水或爆裂时，水会流到接水盘顺着管道流到蓄水池，液位计感应到信号后发出报警。

　　1.3.8超纯水水质检测

　　说明：

　　1、源瓶每次灌水时（包括手动操作）都需要xian进行水质检测，合格之后才可以往源瓶内灌水；

　　2、水质检测可以自动也可以手动，每过水5min后检测一次，如合格则不再进行过水检测；

　　3、如水质连续三次检测不合格，发出水质异常报警，需要人工确认复位。

　　1.3.9超纯水缺乏监测

　　说明：

　　1、超纯水管道进入柜内后分两路走：一路去到源瓶的补水阀（源瓶灌水）；一路经过水阀后接到蓄水池（水质检测过水）；

　　2、过水阀前面管道上安装非接触式液位计；

　　3、当超纯水缺乏时，液位计感应到信号后发出报警。

　　1.3.10废水收集与外排

　　说明：

　　1、源瓶换水时原水排放需要容器收容（蓄水池）；

　　2、超纯水水质检测每次过水5min，需要容器收容（蓄水池）；

　　3、蓄水池上安装电极式液位计及排水泵；

　　4、当蓄水池液位上升到高液位时启动排水泵外排废水，排水泵也可以手动控制；

　　1.3.11异常、故障报警

　　说明：

　　1、当设备发生任何异常或故障时均发出报警；

　　2、报警的方式：a、蜂鸣器；b、显示屏；c、传上位机；

　　1.3.12与机台信号对接

　　说明：

　　1、1～6#管工艺状态信号，继电器常开触点，用于判断是否在工艺；

　　2、1～6#管不工艺状态信号，继电器常开触点，用于判断工艺是否结束；

　　3、1～6#源瓶换水请求信号，继电器常开触点，直到换水完成，用于告知机台源瓶在换水；

　　4、水质合格信号，继电器常开触点，直到换水完成，用于告知机台此次换水水质检测合格；

　　5、1～6#源瓶恒温就绪信号，继电器常开触点，用于告知机台换水完成且加热恒温可以开始做工艺；

　　6、1～6#源瓶温度异常信号，继电器常闭触点，用于告知机台该源瓶温度波动异常；

　　7、1～6#源瓶高液位信号，继电器常闭触点，用于告知机台该源瓶出现高液位；

　　8、1～6#源瓶低液位信号，继电器常闭触点，用于告知机台该源瓶出现低液位；

　　9、源瓶漏水信号，继电器常闭触点，用于告知机台柜内有源瓶漏水；

　　1.4使用环境

　　1、地面平整，通风良好；

　　2、周围无强烈振动；

　　3、周围无强电磁场影响；

　　4、周围无易燃、易爆、腐蚀性物质和粉尘；

　　5、周围留有足够的使用及维护空间；

　　6、环境温度：10℃～45℃；

　　7、环境湿度：≤80%RH。