拥有300 x 200 x 150mm量程的全自动非接触式三维坐标测量系统。它测量速度快、精度高,擅长测取接触式量仪所无法测量的各种零部件尺寸,尤其适用于工件的批量检测以及生产工序的质量分析控制。 8方向程控LED 环形照明系统、自动影象对焦以及具有扫描功能的激光自动对焦装置均为标准配置。15倍变焦比的5段程控变焦镜组,可以在各段(倍率)间进行自由切换,以满足低倍大视场观察搜索和高倍精密测量两方面的需求。
1、2、3 型
多种多样的照明手段,使各种零部件的边界都能清晰地显示,确保工件边界可被自动检出;
3 个型号(1、2、3 型)各自有 5 级放大倍率,可满足不同视场及倍率要求;
较长的工作距离(50 毫米),可满足测量对工件高度方向的空间需求;
高达15 倍的变焦比,可以满足低倍大视场观察搜索和高倍精密测量两方面的需求。与无级变焦机构相比,采用5段、定倍自动变焦机构可以使测量更加快速、准确;
高速、高精度 TTL 激光自动对焦功能,不仅可以测量高度,还可以进行激光自动扫描,对工件的截面形状以及三维表面轮廓形状进行自动扫描测量。
应用领域:
半导体封装、印刷电路板、冲压件、连接器、注塑件及各种小零件,如钟表元件等。
连接器管脚
PGA针脚
小模数塑料齿轮
Z120X 型(带高倍头)
光学放大倍数可达120X,能够测量微距线宽;
高精度 TTL 激光自动对焦装置,具有激光光束细、光斑小的特点,支持精细激光扫描测量;
特别适合经过精细加工的小型精密零件的测量;
可选配表面形貌分析软件(Bird's-Eye View),用来显示 MEMS 部件的三维表面形貌。
应用领域:
高密度印刷电路板、掩模板、半导体封装(二维+高度)、MEMS部件等。
CCD
锡球
焊接引线激光扫描
焊接引线截面分析
LU 型(通用反射照明器 / 电动物镜转换器)
光学头采用尼康的CFI60光学系统,可以使用尼康 CFI60 LU 全系列显微物镜;
具有明场、暗场、DIC、简易偏光等显微观察方式;
配备电动通用五孔物镜转换器;
可装备带有玻片厚度修正功能的、专门用于液晶板观测的尼康CF IC LCD Plan CR系列物镜;
易于使用的软件,可控制系统所有功能。
应用领域:
小型液晶显示器,有机EL面板,直径在200毫米以内的硅片等。
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- (美国)美国菲力尔
- (怀柔区)华谱科技
- (美国)美国Gssi
- (杨浦区)上海盈诺
- (英国)英国柏楉
- (美国)赛谱司
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- (通州区)北京卓立汉光
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- (美国)美国Faxitron
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