KLA 纳米压痕仪 G200X

Nano Indenter G200X 的主要指标:
1. 科磊公司是领先的半导体测量领域的公司
2  科磊公司在 在 193 83 年发明纳米压痕仪原型机
3  完全符合 ISO- - 14577 、 ASTM- - E2546- - 07 、 GB/T22458- -8 2008 和 GB/2 5898- -2 20 010 等所有标准的纳米压痕供货商
4. 较大的加载范围和极高的载荷分辨率 －适用于各种材料和硬质薄膜及涂层检测
5. 最大的压头移动范围和极高的位移精度－适用于各种较厚薄膜和涂层、粗糙度较大样品的检测
6. 科磊公司独有的专利技术－连续刚度测量模块
7. 科磊公司独有的恒应变加载模式
8. 领先的金刚石压头制造工艺
9. 整个测量过程中热飘移效应实 时 扣 除 — 科磊 公司独有的技术
10.功能强大的 功能强大的 InView 6 6 控制软件 控制软件 — 同行业中公认的最为强大的控制软件
11. 真正的原位成像和原位纳米力学测试功能
12. 性能优越的防震抗噪系统
13. 全自动控制的光学显微镜系统
14. 科磊公司在中国设置了当地的维修和培训中心
15. 强大的技术团队
16. 拥有国内外高端领域最大的客户群
位移测量方式 电容位移传感器
压头位移范围 ≥1.5mm
最大压痕深度 >500um
位移分辨率 0.01nm
加载模式 电磁力
最大载荷（标配） >500mN
载荷分辨率 50nN
高载荷选件 10N /50nN
高分辨压痕选件 50mN / 3nN
框架刚度 ≥5x10 6 N/m
有效使用面积 100mmX100mm
定位精度 1um
定位控制模式 全自动遥控
总的放大倍率 250 倍和 1000 倍
物镜镜头 10X 和 40X