日本基恩士/KEYENCE

超越激光显微镜的限制，以三重扫描方式应对 一台即可测量纳米/ 微米/ 毫米 一台即可了解希望获取的信息 最高分辨率0.01 nm

多功能轮廓测量仪可消除死角，测量光泽面

非接触式3D轮廓测量仪同时可用作检测设备，快速掌握轮廓形状、粗糙度及平面度，并进行OK/NG判断。

格型号VR-6200类型工作头控制器VR-6000观察视野低倍（大视野）15 英寸显示器上的倍率 12×横向24.0 mm纵向18.0 mm15 英寸显示器上的倍率 25×横向12.0 mm纵向9.0

格型号VR-6100类型工作头控制器VR-6000观察视野低倍（大视野）15 英寸显示器上的倍率 12×横向24.0 mm纵向18.0 mm15 英寸显示器上的倍率 25×横向12.0 mm纵向9.0

格型号VR-6000类型控制器工作头VR-6200, VR-6100观察视野低倍（大视野）15 英寸显示器上的倍率 12×横向24.0 mm纵向18.0 mm15 英寸显示器上的倍率 25×横向12.

格型号VH-M100E载重3 kg平台移动量XY各方向 100 mm显示分辨率0.1 µm移动精度4 + 0.02 L (µm) *1额定电源电压100 至 240 VAC、50/60 Hz

格型号VH-M100载重3 kg平台移动量XY各方向 100 mm显示分辨率0.1 µm移动精度4 + 0.02 L (µm) *1额定电源电压100 至 240 VAC、50/60 Hz额

格型号VK-X3100类型测量头综合倍率42 至 28800 倍*1视野范围11 至 7398 μm测量原理激光共聚焦、聚焦变化、白光干涉、分光干涉激光光源波长半导体激光 404 nm最 高激光测量速

格型号VH-S30BXYθ 平台XY 平台电动／手动手动XYθ平台XY 自动平台 马达-XY 自动平台 分辨率XY 自动平台 移动速度XYθ 平台XY 平台移动量X ：±37.5 mm、Y ：±25

格型号VK-X3050类型测量头综合倍率42 至 28800 倍*1视野范围11 至 7398 μm测量原理激光共聚焦、聚焦变化、白光干涉、分光干涉激光光源波长半导体激光 661 nm最 高激光测量速

格型号VH-S300XYθ 平台XY 平台电动／手动手动XY 平台移动量±35 mθ 旋转角360 度XYθ 平台尺寸上方190 mm x 150 mmZ 平台Z 平台电动／手动手动Z 平台移动量53

格型号VK-X3000类型控制器综合倍率42 至 28800 倍*1视野范围11 至 7398 μm测量原理激光共聚焦、聚焦变化、白光干涉、分光干涉激光光源波长VK-X3100: 半导体激光 404

格型号VH-M100E载重3 kg平台移动量XY各方向 100 mm显示分辨率0.1 µm移动精度4 + 0.02 L (µm) *1额定电源电压100 至 240 VAC、50/60 Hz

格型号VK-S3XY 载物台结构手动运行范围70 × 70 mm重量约17 kg产品尺寸​