详细介绍
镭测科技激光干涉仪LH1000双频激光干涉仪
专为光刻机配套开发的高精度测量系统;
通过国家重大专项“极大规模集成电路制造技术及成套工艺”项目验收。
采用直接输出线偏振光的双频激光器;
非线性高精密测量系统,测量更精确;
可提供1~20MHz频差内任意频差产品,满足各种测量速度需要。
光源和测量信号接收单元分体式设计,方便搭建XY位移台等多轴测量系统;
精巧的测量信号光纤接收头,即使空间狭小也能方便安装;
标准光刻机干涉仪安装尺寸和数据接口,可直接替换现有产品。
型号 | 频差(MHz) | 最小出光功率(μW) | 光斑尺寸(mm) | 稳频精度(ppm) |
LH1000A | 1.5±0.5 | >500 | 6 | ±0.02 |
LH1000B | 2.5±0.5 | > 500 | 6 | ±0.02 |
LH1000C | 3.5±0.5 | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
LH1000D | 4.5±0.5 | >500 | 6, 9 | ±0.02 |
LH1000DL | 5.5±0.5 | > 500 | 6, 9 | ±0.02 |
LH1000EL | 6.5±0.5 | >500 | 6 | ±0.02 |
LH1000FL | 7.5±0.5 | >500 | 6, 9 | ±0.02 |
LH1000GL | 8.5±0.5 | > 500 | 9 | ±0.02 |
LH1000H | 9.5±0.5 | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
LH1000I | 10.0-20.0(按需定制) | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
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产品优势
专为光刻机配套开发的高精度测量系统;双频激光干涉仪,进口设备转国产化的优选产品
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仪企号北京镭测科技有限公司
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