真空腔体如何检漏

问题：真空腔体如何检漏

原因：真空腔体存在很多的焊接面和法兰面，如果焊接不良或者法兰面夹杂异物等原因，就会造成真空腔体的泄漏。

解决方案：为了查明泄漏点和具体漏率，将歌博科技氦质谱检漏仪（下称检漏仪）通过波纹管连接在真空腔体上。对腔体进行抽空检漏（注：若腔体体积较大，可能需要添加辅抽泵对腔体抽空，提高工作效率），在真空腔体表面从上到下喷氦，氦气会通过漏孔进入到腔体内部，Z终被检漏仪检测到。因为腔体内部是真空状态，不受空气中氦气本底的影响，所以检测精度Z高可以达到10-13 Pa·m3·s-1，完全可以满足客户生产需求。