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激光干涉仪检测数控机床位置精度

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概述
实验/设备条件
样品提取
实验/操作方法
实验结果/结论
仪器/耗材清单

1.测量精度高速度快,稳定性好
使用美国高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)
以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm级
使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s
配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度
分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
可以实现线性角度直线度垂直度平面度等几何量的检测
结合我们的软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析
可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析
3 软件界面友好
使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单
将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,更方便用户切换测量类型
向导式操作,流程清晰,更符合国内用户的使用习惯
4 性价比高
性能达到了国外仪器的水准,价格是国内仪器的良心价 中图仪器SJ6000激光干涉仪

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