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氧化硅材料的粒度测量

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实验/设备条件
样品提取
实验/操作方法
实验结果/结论
仪器/耗材清单
氧化硅是一种常用的矿物材料,从研磨剂到填料以至作为提高物性用的添加
剂,它有一个广泛的使用范围
高纯度要求的打磨剂如 CMP 需要次微米级颗粒,通常使用沉淀法或发烟法加
工Z常用的或大颗粒的氧化硅,是把天然原料如砂石或石英进行分类,研磨后再加工的 激光粒度分析仪
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