光谱仪是将成分复杂的光分解为光谱线的科学仪器,由棱镜或衍射光栅等构成,利用光谱仪可测量物体表面反射的光线。光谱仪有多种类型,除在可见光波段使用的光谱仪外,还有红外光谱仪和紫外光谱仪。按色散元件的不同可分为棱镜光谱仪、光栅光谱仪和干涉光谱仪等。光谱仪应用很广,在农业、天文、汽车、生物、化学、半导体工业、成分检测、真空室镀膜过程监控、薄膜厚度测量、LED测量等领域应用广泛。
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