预算4850万 清华大学采购等离子清洗机

　　近日，清华大学通用等离子体去胶机、等离子清洗机(后道)、硅深刻蚀系统、硅深刻蚀系统(压电材料用)和激光玻璃加工设备采购项目进行公开招标，招标项目的潜在投标人应在北京市海淀区文慧园北路10号，中教仪总公司北师大办公楼509室获取招标文件，欢迎合格的供应商前来投标。

　　一、项目基本情况

　　项目编号：清设招第20230325号(0873-2301HW3L0518)

　　项目名称：清华大学通用等离子体去胶机采购项目

　　采购需求：

　　通用等离子体去胶机采购1套，预算金额：450万元，国产，该设备应用于去除光刻胶;湿法刻蚀前的晶圆清洁;刻蚀钝化层;键合、打线前的表面清洁和活化。

　　项目编号：清设招第20230328号(0873-2301HW3L0525)

　　项目名称：清华大学等离子清洗机(后道)采购项目

　　采购需求：

　　等离子清洗机(后道)采购1套，预算金额：200万元，允许进口，该设备应用于MEMS器件以及集成封装工艺。具体工艺应用如下: 1,MEMS器件金属Pad等离子清洗; 2， 集成封装工艺，焊盘、引线框架等离子清洗。

　　项目编号：清设招第20230345号(0873-2301HW3L0526)

　　项目名称：清华大学硅深刻蚀系统采购项目

　　采购需求：

　　硅深刻蚀系统采购1套，预算金额：1500万元，最高限价：1100万元，国产，硅深刻蚀系统应用于微纳加工过程中的深刻蚀工艺。此系统包括两个工艺模块，硅深刻蚀模块采用博世(Bosch) 工艺，用以实现可控高精度、高选择比和高深宽比的硅深结构刻蚀;硬掩模刻蚀模块用于深刻蚀工艺中硬掩模的刻蚀图形化，以及其他介质材料的干法刻蚀。

　　项目编号：清设招第20230349号(0873-2301HW3L0527)

　　项目名称：清华大学硅深刻蚀系统(压电材料用)采购项目

　　采购需求：

　　硅深刻蚀系统(压电材料用)采购1套，预算金额：1500万元，允许进口，硅深刻蚀系统(压电材料用)应用于微纳加工工艺研制研发过程中的硅基深刻蚀工艺，采用博世(Bosch)工艺，用以实现可控高精度、高选择比和高深宽比的硅深刻蚀功能。

　　项目编号：清设招第20230353号(0873-2301HW3L0528)

　　项目名称：清华大学激光玻璃加工设备采购项目

　　采购需求：

　　激光玻璃加工设备采购1套，预算金额：1200万元，最高限价：950万元，国产，激光玻璃加工设备主要用于玻璃通孔(TGV)转接板的刻蚀工艺。激光玻璃加工设备能够满足清华大学高技术实验室教学科研需求，是支撑先进集成工艺的必需设备。

　　本项目( 不接受 )联合体投标。

　　二、获取招标文件

　　时间：2023年12月27日 至 2024年01月04日，每天上午9:00至11:00，下午14:00至16:00。(北京时间，法定节假日除外)

　　地点：北京市海淀区文慧园北路10号，中教仪总公司北师大办公楼509室

　　方式：建议采用汇款形式进行报名，请按本公告“其他补充事宜”所述账户信息汇款(不接受个人账户汇款)，请您在本公告页面最下方附件自行下载“报名登记表”填写，将报名登记表(word文本形式)、汇款底单、法定代表人授权书 (加盖公章的彩色PDF扫描件)、被授权人身份证复印件(加盖公章的彩色PDF扫描件)一起发送至xiejie59893114@126.com;文件售价500元/包，文件售后不退。

　　为避免人员聚集，建议采用汇款方式报名。也可以按公告所述时间于工作日进行现场报名，到场前也应提前发送报名登记表(word文本形式)至指定邮箱备案，现场报名人员须携带：

　　(1)法定代表人授权书原件(须加盖公章)。

　　(2)被授权人身份证原件及复印件(须加盖公章)。

　　(3)报名登记表详见公告附件(请事先下载填好并打印)。

　　三、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

　　开标时间：2024年01月17日 12点40分(北京时间)(清设招第20230325号);

　　开标时间：2024年01月17日 12点50分(北京时间)(清设招第20230328号);

　　开标时间：2024年01月17日 13点00分(北京时间)(清设招第20230345号);

　　开标时间：2024年01月17日 13点10分(北京时间)(清设招第20230349号);

　　开标时间：2024年01月17日 13点20分(北京时间)(清设招第20230353号);

　　地点：北京市海淀区文慧园北路10号，中教仪总公司北师大办公楼4层会议室。

　　四、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

　　1.采购人信息

　　名 称：清华大学

　　地址：北京市海淀区清华大学

　　联系方式：肖老师010-62780052

　　2.采购代理机构信息

　　名 称：北京中教仪国际招标代理有限公司

　　地　址：北京市海淀区文慧园北路10号，中教仪总公司

　　联系方式：谢杰、刘欣、杜健、李兴达 010-59893114、59893122、59893131

　　3.项目联系方式

　　项目联系人：谢杰、蒋旭、韩寿国、杨硕、刘欣、陈清、杨轶

　　电　话：010-59893114、010-59893131、010-59893122