技部科技评估中心验收重大科学仪器“高端全息光栅研发”项目

利用全息照相技术制作的光栅，光全息技术，主要是利用光相干迭加原理，简单讲就是通过对复数项(时间项)的调整，使两束光波列的峰值迭加，峰谷迭加，达到相干场具有较高的对比度的技术。全息光栅没有鬼线，杂散光小，可消除机刻光栅的固有缺点，其实际分辨本领可达理论分辨本领的80%～。

近日，国家重大科学仪器设备开发专项“高端全息光栅研发”项目通过了技部科技评估中心的验收。

项目组在研发周期内建立并完善了高端全息光栅制造及检测装备，全面提高了高端全息光栅的工艺技术，研制出国际先进的11种高端全息光栅，同时，联合国内优势企业应用新光栅开发出6种新型光谱仪器。 研制出大口径匀胶机、大口径曝光系统、曲面光栅离子束刻蚀机、大口径反应离子刻蚀机、衍射波前测试仪、衍射光栅杂散光测试仪，形成了集光栅设计、制造及检验于一体的开发平台。低杂散光紫外可见光谱仪、新型火花直读光谱仪、高速单道扫描电感耦合等离子体发射光谱仪、双光束紫外–可见分光光度计、医用成像光谱仪、极紫外–软X射线双光栅单色器等六种高端光盘分析仪器。

匀胶机

是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。该设备主要用于晶片涂光刻胶，有自动、手动和半自动三种工作方式。

光纤光栅器件

利用石英光纤的紫外光敏特性将光波导结构直接制作在光纤上形成的光纤波导器件。根据特定的光栅结构，光纤光栅可以作成滤波器，反射器、色散补偿器等。利用光纤光栅可以制成满足各种光纤通信要求的有源和无源器件。光栅主要有：狭缝光栅和柱镜光栅两类。光栅是结合数码科技与传统印刷的技术，能在特制的胶片上显现不同的特殊效果。

离子束刻蚀

称为离子铣，是指当定向高能离子向固体靶撞击时,能量从入射离子转移到固体表面原子上，如果固体表面原子间结合能低于入射离子能量时，固体表面原子就会被移开或从表面上被除掉。通常离子束刻蚀所用的离子来自惰性气体。聚焦离子束技术的优点是在计算机控制下的无掩膜注入，无显影刻蚀，直接制造各种纳米器件结构。

反应离子腐蚀技术

是一种各向异性很强、选择性高的干法腐蚀技术。它是在真空系统中利用分子气体等离子来进行刻蚀的，利用了离子诱导化学反应来实现各向异性刻蚀，即是利用离子能量来使被刻蚀层的表面形成容易刻蚀的损伤层和促进化学反应，同时离子还可清除表面生成物以露出清洁的刻蚀表面的作用。

衍射波前测试方法

对于衍射光栅的检测，有干涉法、全息术法和位相对比法三种方法。通过对干涉条纹的获取、处理即可得知波前缺陷,从而反映出此光栅的质量水平和加工上的不足,并得以改进。目前衍射光栅波前检测已应用于在平面光栅的检测中,而对于凹面光栅的质量检测仅是对其衍射效率进行检测,未应用于其衍射波前进行检测。衍射光栅是应用在光谱仪器中Z重要的元件之一。随着光谱仪器应用领域的扩展,衍射光栅不仅应用于物质元素的光谱分析,而且在天文学、量子光学、集成光学、生物学、光通讯、化工以及冶金等领域也得到了广泛应用。

平面光栅杂散光测试仪

杂散光是平面光栅的重要性能指标, 光栅杂散光的测量一直是光栅研制领域的难题。 利用杂散光分析软件ASAP建立紫外单色光入射下光栅杂散光测试仪的散射模型并对其进行仿真计算, 分析仪器杂光的主要来源及散射路径, 据此提出了用于降低仪器散射光和光栅多次衍射光的挡光环、 叶片、 光阑、 光学陷阱等四种杂光抑制结构。采用ASAP软件对增加抑制结构前后的仪器杂光相对强度进行了对照分析。

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