台阶仪的产品特点

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【导读】台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为光电式、电感式和压电式三种。今天就给大家介绍下。光电式台阶仪是利用光电元件接收透过狭缝的光通量变化来检...

台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为光电式、电感式和压电式三种。今天就给大家介绍下。

光电式台阶仪是利用光电元件接收透过狭缝的光通量变化来检测位移量的变化;电感式采用电感位移传感器作为敏感元件，性价比高，测量精度高、但处理电路稍复杂;压电式的位移敏感元件为压电晶体，其结构简单，灵敏度高，但传感器低频响应不好、且容易漏电造成测量误差。

台阶仪产品特点为：量程大，测量精度较高，重复性好，测量结果稳定可靠，还可以作为其它形貌测量技术的比对;另外，测头的硬度一般都很高，为使测头不至很快磨损，不要用于软质表面和精密零件的测量;测件和测头接触时会造成测头磨损和变形，使用一段时间后测量精度下降;测头为了保证刚性和耐磨性而不能做得非常细小和尖锐，否则会造成测量数据的偏差。该仪器是集合了共焦光学形貌仪，WLI白光干涉形貌仪，原子力显微镜，接触和非接触式双模式表面形貌检测。

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2004-09-14 09:23:03

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