半导体电学测量方法

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【导读】为了满足各种半导体器件的需要，必需对材料的电学参数进行测量，这些参数一般为电阻率、载流子浓度、导电类型、迁移率、寿命及载流子浓度分布等。测量方法有四探针、三探针、扩展电阻、C-V法...

为了满足各种半导体器件的需要，必需对材料的电学参数进行测量，这些参数一般为电阻率、载流子浓度、导电类型、迁移率、寿命及载流子浓度分布等。测量方法有四探针、三探针、扩展电阻、C-V法及Hall测量等。

对于半导体材料的电阻率，一般采用四探针、三探针和扩展电阻。

四探针法是经常采用的一种，原理简单，数据处理简便。测量范围为10-3-104防米，能分辨毫米级材料的均匀性，适用于测量半导体材料、异型层、外延材料及扩散层、离子注入层的电阻率，并能够提供一个迅速的、不破坏的、较准确的测量。

采用四探针法测量相同导电类型、低阻衬底的外延层材料的电阻率时，由于流经材料的电流会在低阻衬底中短路，因此得到的是衬底与外延层电阻率并联的综合结果。这时，需要采用三探针法、扩展电阻法等。

三探针法是利用金属探针与半导体材料接触处的反向电流-电压特性、测定击穿时的电压来获得材料电阻率的知识的。

C-V法利用PN结或肖特基势垒在反向偏压时的电容特性，可以获得材料中杂质浓度及其分布的信息，这类测量称为C-V测量技术。这种测量可以提供材料截面均匀性及纵向杂质浓度分布的信息，因此比四探针、三探针等具有更大的优点。虽然扩展电阻也能测量纵向分布，但它需将样品进行磨角。但是C-V法既可以测量同型低阻衬底上外延材料的分布，也可测量高阻衬底用异型层的外延材料的分布。

Hall测量在半导体材料测量中，霍尔效应有着广泛的应用。用它来研究半导体材料导电过程或输运现象。可提供材料的导电类型、载流子浓度、杂质电离能（包括深、浅能级杂质）、禁带宽度、迁移率及杂质补偿度等信息。

RTS-4四探针测试仪、RTS-8四探针测试仪、RTS-9双电测四探针测试仪

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2004-09-17 09:23:06

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