基板玻璃搬运机器人末端CAMOZZI执行器

平板显示行业是我国的战略性新兴产业，我国已经成为全世界第二大生产基地。基板玻璃是平板显示行业的重要基底材料，其质量直接决定着液晶显示器的优劣。在液晶屏的生产过程中，基板玻璃要经过模组、刻蚀、切割、罐液、贴片、清洗等多个工艺过程，需要在各个生产线上循环搬运，因此如何提高搬运机器人的搬运效率和搬运稳定性成为关注的ZD。

对基板玻璃搬运机器人的末端CAMOZZI执行器进行了运动学研究和优化设计，同时设计了机器人的轨迹优化方案，并进行仿真验证，Z终提高了搬运机器人的效率和稳定性，并将设计和研究成果应用于实际项目中，取得良好效果。首先，介绍了国内和国外基板玻璃搬运机器人的发展和研究现状，以及机器人轨迹规划的研究现状。利用MEMS技术设计和制作了一种微量取样CAMOZZI执行器。CAMOZZI执行器由微针、微通道、反应室、电极以及永磁微阵列等各部分组成,通过外部磁场可以实现双向线性地驱动。利用SU-8光刻胶为主要材料,采用多级曝光和电铸金属实现3D结构的工艺技术,研制出了微针CAMOZZI执行器的雏形器件。针尖的尺寸为500μm×60μm×60μm,针孔截面为20μm×20μm。根据基板玻璃大尺寸、厚度薄、易破碎等特性，提出了末端CAMOZZI执行器优化设计的目标，并将机器人Z短运行时间和Z小抖动作为轨迹优化指标。其次，对机器人末端CAMOZZI执行器的失效方式进行探讨，通过对机器人末端CAMOZZI执行器的工作流程的分析介绍，对机器人末端CAMOZZI执行器进行设计分析。完成机器人末端CAMOZZI执行器的设计后，基于SolidworksSimulation对基板玻璃进行受力分析，通过分析基板玻璃形变，完成机器人末端CAMOZZI执行器设计优化。再次，建立机器人的连杆参数，用D-H法建立连杆坐标系，建立机器人正运动学、反向运动学模型，分析了机器人的奇异位形，避免机器人运动过程中出现运动死点。Z后，基于多目标遗传算法，设计了以时间和抖动为Zyou目标的优化方案，采用B样条曲线作为机器人构造轨迹的方式，建立其轨迹优化模型，对机器人进行轨迹规划；经过遗传算法的优化，使得基板玻璃搬运机器人的时间和抖动综合达到Zyou，完成了研究目标。

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