一种防止洁净室静电放电的方法

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【导读】　　一种防止洁净室静电放电的方法，可于一具有一层流装置的洁净室中去除静电荷，该洁净室中具有一层流装置，设置于该洁净室的天花板上;本发明先提供至少一设置于该层流的中具有一**高度的离

一种防止在洁净室中产生静电的方法，该方法可以通过层流装置去除洁净室中的静电，该洁净室具有层流装置，并设置在洁净室的天花板上；本发明提供了至少一个在层流中具有ZD高度的离子发生器。所述离子发生器包括至少一个发射管，并且每个发射管的至少一个输出端面向天花板，然后至少使用具有布置在层流中的第二高度的传输系统来传输至少一个载体，并且然后将至少一个电压源施加到每个发射管上，以去除洁净室中的静电。本发明将离子发生器发射管的输出端直接面对天花板，可以避免由于电场强度超过规格上限而损坏车辆在自动传输轨道上携带的材料。

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2006-11-29 09:08:14

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