利用扫描电镜全面了解样品

样品名称

铅电池极片框架

样品类型

金属，固体

是否喷金

未喷金

设备型号

飞纳台式扫描电镜PhenomPure+

测试项目

测试目的

表面镀层质量观察

光学导航介绍

借助光学导航显微镜，可以定位到不同位置。操作人员始终明白当前样品所处的位置。对于想观察的区域，也只需要在光学导航图上点击鼠标左键即可移动至此位置。图1.右上小图中黄框代表当前照片成像位置。

借助右下方电子导航，可以在高倍数下进行更极ng准的位置导航。

背散射Full模式成像

背散射Full模式成像表征样品的成分（80%）+形貌信息（20%）。在背散射图像下，成像更亮（白）的区域往往代表此处成分以重元素为主，成像暗（黑）的区域往往代表此处成分含以轻元素为主。拍照时发现样品存在裂痕区，如图2所示。

裂痕可能产生于生成环节，也可能产生于运输或制样过程中对样品的弯折。对此，我们使用更高倍数成像观察。

在500与1000倍下成像看出裂痕横向的走势平滑，未出现弯折或撕裂产生的锯齿感或撕裂感，见图3.a与图3.b。在更高倍数下成像，图3.c与图3.d可以看出裂痕纵向深入的方向走势也较为平滑。

更高倍数下对样品进行观察，展示出镀层表面的形貌，图4。样品表面存在黑色斑点。由于背散射成像性质，可以推断此处成分元素较轻，也有可能为陡直的坑。分别使用背散射Top模式，3D粗糙度重建系统，二次电子模式，以及能谱对此处进行深入分析。

背散射Top模式成像

背散射Top模式通过不同方位的四分割探头的信号运算，获得样品表面的“阴影效果”。模拟样品表面的形貌。对图4位置进行Top模式观察。发现样品表面的黑斑为凹坑结构。

3D粗糙度重建

3D粗糙度重建系统利用4分割探头与极ng准的工作距离，通过计算阴影区面积对样品表面形貌进行重构。在黑斑位置拉一条形貌曲线，测得这些位置确实为凹坑。

二次电子成像

二次电子成像获得样品表面更为敏感的形貌信息。

三种不同成像模式对比

EDS能谱测试

EDS能谱为了对黑斑位置进行进一步分析，我们进行EDS能谱mapping面扫。面扫显示出黑斑位置存在Al元素的聚集。

总结

一些位置存在裂纹缺陷，另外一些位置镀层存在孔洞缺陷。使用不同探头成像模式对样品进行分析。不同探头分别可以获得不同的信息。

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