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四探针电阻率又名方阻测试仪是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗四探针电阻率方阻测试仪单晶、硅片)电阻率,以及扩散层、外延层、 ITO 导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份(简称:主机)、测试架及四探针头组成。
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- 2004-08-12 09:23:07
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