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三维光学轮廓仪模块化设计,效果明显三维光学轮廓仪系统配备自动化扫描平台,藉由垂直轴自动化移动平台的扫描功能搭配快速的自动对焦算法,可有效辅助用户找到Z佳的对焦位置,另外藉由倾斜调整平台可快速地将待测物调平,在短短的几秒钟之内无需繁复的操作,系统即可自动将待测物体调整至Z佳对焦位置并予以调平进行量测。目前商用白光干涉分析仪Z常使用之质心算法来计算表面高度,因光线绕射的效应在某些位置产生错误高度计算,造成量测结果边界轮廓出现错误的信息,本系列产品采用Zxin开发3DProfilerMaster量测软件,并搭配Chroma干涉讯号处理算法来分析白光干涉图谱,可将边界错误问题予以避免。此外,系统亦搭载Chroma的暗点处理功能,可有效过滤并修正无法产生干涉之问题数据点,将这些暗点去除后可降低量测上的误差。由于暗点处理的机制在资料撷取期间执行,因此暗点滤除功能可有效率的执行,由于暗点乃参考其附件周围数据来进行修正,因此可使得量测更加强固且可靠。三维光学轮廓仪新一代的系统模块化设计,具备高度弹性之组合配置,可针对不同之量测需求配置来符合不同之量测应用:搭载电动鼻轮,Z多可同时挂载5种物镜,使用时直接切换,省去手动更换的麻烦。同时配备电动调整移动平台,可对样品作自动调平及定位。垂直与水平轴向扫描范围大,适合各种自动量测之应用,样品皆不需前处理即可进行非破坏、快速的表面形貌量测与分析,Z适合使用于业界研发生产、制程改善以及学术研究等单位。三维光学轮廓仪之高度分辨率可达0.1nm,而搭配使用Z垂直轴量测扫描行程更可达到100mm,且水平轴向亦可达次微米解析,除此三维光学轮廓仪可透过计算机控制移动平台进行水平扫瞄,使其水平轴向量测范围可达到150×150mm,并可依据客户需求修改平台尺寸。三维光学轮廓仪搭配快速的校正程序以及演算原理,系统校正结果可以追朔至NIST标准,并结合数种创新且强固可靠的算法,因此本系列产品可同时拥有高极ng准度以及大范围量测的特质。
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