- 相约杭州|安谱实验邀请您共赴 检测企业整合实践创新大会暨TIC私董会八周年年会
- 《白露惊秋!从候鸟迁徙到普仁仪器的神奇助力》
- 【今日白露】露从今夜白,夜自此日凉
- 展会回顾|指尖上的仪器“贵阳”人生初见暨广州市仪器行业协会贵阳行
- 白露时节|水上的安全守护
- CRISPR/Cas9诺奖得主携手荧光技术共探生命奥秘|前沿应用
- 解锁氧氮氢养护技巧,掌握拉曼样品准备妙招——9月12日 HORIBA 售后服务直播间精彩来袭!
- 鲲霆十年,一路相伴丨十周年庆福利活动第一弹
- 来源:内容来源于网络 浏览量:790次
- 【导读】等离子清洗机工作原理分析:电浆与材料表面可产生的反应主要有两种,一种是靠自由基来做化学反应,另一种则是靠等离子作物理反应,以下将作更详细的说明。(1)化学反应(Chemicalre...
等离子清洗机工作原理分析:电浆与材料表面可产生的反应主要有两种,一种是靠自由基来做化学反应,另一种则是靠等离子作物理反应,以下将作更详细的说明。(1)化学反应(Chemicalreaction)在化学反应里常用的气体有氢气(H2)、氧气(O2)、甲烷(CF4)等,这些气体在电浆内反应成高活性的自由基,其方程式为:这些自由基会进一步与材料表面作反应。其反应机理主要是利用等离子体里的自由基来与材料表面做化学反应,在压力较高时,对自由基的产生较有利,所以若要以化学反应为主时,就必须控制较高的压力来近进行反应。(2)物理反应(Physicalreaction)主要是利用等离子体里的离子作纯物理的撞击,把材料表面的原子或附着材料表面的原子打掉,由于离子在压力较低时的平均自由基较轻长,有得能量的累积,因而在物理撞击时,离子的能量越高,越是有的作撞击,所以若要以物理反应为主时,就必须控制较的压力下来进行反应,这样清洗效果较好,为了进一步说明各种设备清洗的效果。等离子体清洗机的机理,主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。就反应机理来看,等离子体清洗通常包括以下过程:无机气体被激发为等离子态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。等离子体清洗技术的Zda特点是不分处理对象的基材类型,均可进行处理,对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理,并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。等离子体清洗还具有以下几个特点:容易采用数控技术,自动化程度高;具有高精度的控制装置,时间控制的精度很高;正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层,表面质量得到保证;由于是在真空中进行,不污染环境,保证清洗表面不被二次污染。2.等离子清洗机的清洗分类:2.1反应类型分类等离子体与固体表面发生反应可以分为物理反应(离子轰击)和化学反应。物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面,使污染物脱离表面Z终被真空泵吸走;化学反应机制是各种活性的粒子和污染物反应生成易挥发性的物质,再由真空泵吸走挥发性的物质。以物理反应为主的等离子体清洗,也叫做溅射腐蚀(SPE)或离子铣(IM),其优点在于本身不发生化学反应,清洁表面不会留下任何的氧化物,可以保持被清洗物的化学纯净性,腐蚀作用各向异性;缺点就是对表面产生了很大的损害,会产生很大的热效应,对被清洗表面的各种不同物质选择性差,腐蚀速度较低。以化学反应为主的等离子体清洗的优点是清洗速度较高、选择性好、对清除有机污染物比较有效,缺点是会在表面产生氧化物。和物理反应相比较,化学反应的缺点不易克服。并且两种反应机制对表面微观形貌造成的影响有显著不同,物理反应能够使表面在分子级范围内变得更加“粗糙”,从而改变表面的粘接特性。还有一种等离子体清洗是表面反应机制中物理反应和化学反应都起重要作用,即反应离子腐蚀或反应离子束腐蚀,两种清洗可以互相促进,离子轰击使被清洗表面产生损伤削弱其化学键或者形成原子态,容易吸收反应剂,离子碰撞使被清洗物加热,使之更容易产生反应;其效果是既有较好的选择性、清洗率、均匀性,又有较好的方向性。典型的等离子体物理清洗工艺是氩气等离子体清洗。氩气本身是惰性气体,等离子体的氩气不和表面发生反应,而是通过离子轰击使表面清洁。典型的等离子体化学清洗工艺是氧气等离子体清洗。通过等离子体产生的氧自由基非常活泼,容易与碳氢化合物发生反应,产生二氧化碳、一氧化碳和水等易挥发物,从而去除表面的污染物。2.2激发频率分类等离子态的密度和激发频率有如下关系:nc=1.2425×108v2其中nc为等离子态密度(cm-3),v为激发频率(Hz)。常用的等离子体激发频率有三种:激发频率为40kHz的等离子体为超声等离子体,13.56MHz的等离子体为射频等离子体,2.45GHz的等离子体为微波等离子体。不同等离子体产生的自偏压不一样。超声等离子体的自偏压为1000V左右,射频等离子体的自偏压为250V左右,微波等离子体的自偏压很低,只有几十伏,而且三种等离子体的机制不同。超声等离子体发生的反应为物理反应,射频等离子体发生的反应既有物理反应又有化学反应,微波等离子体发生的反应为化学反应。超声等离子体清洗对被清洁表面产生的影响Zda,因而实际半导体生产应用中大多采用射频等离子体清洗和微波等离子体清洗。
仪器网-专业分析仪器服务平台,实验室仪器设备交易网,仪器行业专业网络宣传媒体。
相关热词:
等离子清洗机,反应釜,旋转蒸发仪,高精度温湿度计,露点仪,高效液相色谱仪价格,霉菌试验箱,跌落试验台,离子色谱仪价格,噪声计,高压灭菌器,集菌仪,接地电阻测试仪型号,柱温箱,旋涡混合仪,电热套,场强仪万能材料试验机价格,洗瓶机,匀浆机,耐候试验箱,熔融指数仪,透射电子显微镜。
- 2004-08-29 09:23:10
- 标签:
- 收藏(0) 赞({{input('id')|returnCommentsOptionCount=23,###,1}}) 踩({{input('id')|returnCommentsOptionCount=23,###,2}})
- 随时了解更多仪器资讯,求购、招标、中标信息实时更新,厂商招商信息随时看。大量、齐全、专业的仪器信息尽在仪器网(yiqi.com)。扫一扫关注仪器网官方微信,随时随地查看仪器用户采购、招标需求!
-
等离子清洗机的优势2004-08-07 09:10:55
等离子清洗机也叫等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离
-
等离子清洗机使用过程中的注意事项2004-08-07 09:10:55
等离子清洗机使用过程中的注意事项1、正确设置等离子清洗机的运行参数,按时设备使用说明书来执行;2、保护好等离
-
等离子清洗机优势2004-08-07 09:10:55
等离子清洗机(plasmacleaner)也叫等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常
-
等离子清洗机简介2004-08-07 09:10:55
等离子清洗机(plasmacleaner)也叫等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常
-
等离子清洗机简介及原理2004-08-18 09:23:05
等离子清洗机是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,
-
等离子清洗机的技术优势有着哪些特色2004-08-18 09:23:05
等离子清洗机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场,用真空泵实现一定的真空度,随着气体愈来愈稀
-
等离子清洗机的简介2004-08-18 09:23:05
等离子清洗机采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。等离子清洗机外接一台真
-
等离子清洗机的使用情况做个简单的阐述2004-08-18 09:23:05
等离子清洗机已应用于各种电子元件的制造,可以确信,没有等离子清洗机及其清洗技术,就没有今日这么发达的电子、资
-
等离子清洗机的应用领域有哪些?2004-08-18 09:23:05
等离子清洗机是一种常用的清洁设备,通过利用活性组分的性质来处理样品表面,从而达到清洁、涂覆等目的,在多个领域
-
等离子清洗机的优势特点介绍2004-08-18 09:23:05
等离子清洗机也叫等离子清洁机,是一种全新的高科技技术,利用活性组分的性质来处理样品表面,从而达到清洁、涂覆等
等离子清洗机原理是什么
-
您可能感兴趣
①本文由仪器网入驻的作者或注册的会员撰写并发布,观点仅代表作者本人,不代表仪器网立场。若内容侵犯到您的合法权益,请及时告诉,我们立即通知作者,并马上删除。
②凡本网注明"来源:仪器网"的所有作品,版权均属于仪器网,转载时须经本网同意,并请注明仪器网(www.yiqi.com)。
③本网转载并注明来源的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品来源,并自负版权等法律责任。
④若本站内容侵犯到您的合法权益,请及时告诉,我们马上修改或删除。邮箱:hezou_yiqi