高真空蒸发镀膜仪靶材厚度的光密度检测

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【导读】　　一般来说高真空蒸发镀膜仪就是将靶材在真空的环境下加以高温，使其以原子团或者离子的形式被蒸发出来，然后在将基片防于真空仓中让这些原子团或离子沉淀在基片之上，在沉淀的过程中我们还能...

　　一般来说高真空蒸发镀膜仪就是将靶材在真空的环境下加以高温，使其以原子团或者离子的形式被蒸发出来，然后在将基片防于真空仓中让这些原子团或离子沉淀在基片之上，在沉淀的过程中我们还能通过我们的需要来改变靶材的沉淀情况。
　　在线光密度检测仪能真空镀膜生产的过程中进行镀膜厚均匀性的监测；选择真空镀膜就是想要在基片上均匀的镀上膜，靶材厚度的均匀性就决定了镀膜的品质，镀膜生产过程中我们可以使用透光率光密度检测仪来进行在线测试，通过光谱里的红外线透过率、紫外线透过率以及可见光穿透率来进行监控感应镀膜的均匀性。
　　那么具体影响基片上的靶材厚度是否均匀的因素有哪些呢？
　　首先对基片上的膜厚度就算是同一种物质都会出现分子结构不同的情况，而真空镀膜简单说来就是在一种物质覆盖另一种物质，如果这两种物质的分子结合能够很好的镶嵌在一起，那么对真空镀膜情况肯定是有很大好处的，反之亦然。
　　然后基片表面的温度也是会影响真空镀膜厚度是否均匀的；基片的温度越高则镀膜效果越好，当然在真空镀膜的时候也会纯在一些特殊的材料，它们的镀膜情况则是基片温度越低镀膜效果会更好。
　　另外，真空镀膜机的蒸发功率和速率也是影响真空镀膜情况一个较大的因素，这个因素想要改变的话只能在真空镀膜机上改善，因此想要通过加大真空镀膜设备的蒸发功率来改变镀膜情况是比较困难的。
　　Z后真空镀膜的时间和所需镀膜的厚度也是会影响到镀膜是的均匀行的一个因素。所以Z有效的办法还是通过目前专业技术的光学检测仪器，通过在线光密度检测仪的光接触来连续测试镀膜厚度的均匀性是否达到标准。

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2004-08-30 09:23:10

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