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通用迷你温控探针台 真空腔
- 品牌：美国Instec
- 型号： HCP421SV-MPS
- 产地：美国
- 供应商报价： 面议
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上海恒商精密仪器有限公司
更新时间：2021-05-08 15:51:08 -
企业性质授权代理商
入驻年限第9年
营业执照已审核
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- 通用迷你温控探针台 真空腔 核心参数
- 详细介绍
功能特点
mimi型温控探针台，可集成到各种光学设备
可编程控温，涵盖-190℃~1000℃（具体由型号而定）
适用 10 mm ~ 50 mm 晶圆和器件
可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用
独立的四个探针，可从设备外部移动探针进行点针
可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK
*可做定制或改动，详询上海恒商
温控参数
温度范围
-190℃~400℃（负温需配液氮制冷）
加热块材质
银
传感器/温控方式
升温速率
100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）
120℃/min（at 100℃）
温控速度
±0.01℃/min
温度分辨率
0.01℃ RTD传感器
温度稳定性
±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）
软件功能
可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线
电学参数
探针
默认为铼钨材质的弯针探针
探针座
可从外部XYZ移动的探针臂
粗调模式+微调模式，微调行程2mm
点针
从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置
探针接口
默认为BNC接头，可选三同轴接口
样品台面电位
默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口
光学参数
适用光路
反射光路
窗片
可拆卸与更替的窗片
物镜工作距离
12 mm *截面图中WD
上盖窗片观察
窗片范围φ50mm，视角±40° *截面图中θ1
负温下窗片除霜
吹气除霜管路
结构参数
适用样品
10 mm ~ 50 mm 直径 （标准）
样品腔高
8 mm
探针座
可从外部XYZ移动的探针臂
粗调模式+微调模式，XY粗调20mm
XY微调行程10mm,Z微调 3mm
气氛控制
真空腔，也可充入保护气体
外壳冷却
可通循环水，以维持外壳温度在常温附近
台体尺寸/重量
300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg
配置列表
基本配置
真空型台式探针台、mK2000B温控器
可选配件
安装支架、液氮制冷系统、外壳循环水冷系统、显微镜头、
真空系统、测试源表、三同轴BNC、台面电悬空、样品接电引线
可选型号
TP102SV-MPS
温度范围 -40℃ ~ 180℃，样品区,40mm*40mm
HCP421SV-MPS
温度范围 -190℃ ~ 400℃，样品区 28mm*30mm
HCP402SV-MPS
温度范围 -190℃ ~ 400℃，样品区 50mm*50mm
HP1000SG-MPS
温度范围 35℃ ~ 1000℃，样品区 25mm*25mm,气密腔室
定制型号
按客户需求定制，适用300mm晶圆样品
典型应用
表征薄膜、二维材料、纳米材料和分子/有机材料器件的电性能测试
需要加热块表面电接地、接同轴BNC接口、三同轴BNC接口的
需要钨铼探针、铍铜探针或其他材料的探针的
需要从外部对台体内探针进行XYZ移动的
晶圆、半导体器件、集成电路、印刷电路板、光伏板、LCD/LED测试
测量IV和CV特性、击穿电压、漏电流、电阻、介电常数和二极管效率
- 产品优势
- HCP421SV-MPS Instec的真空型mini台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。
| 温度范围: | -190℃ ~ 400℃（负温需配液氮制冷系统） | 温度稳定性: | ±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃） |
