仪器特点：

1. 高空间分辨率：有效像素尺寸降低到0.27μm。

2. 灵活的探测器像素尺寸：可选择0.27和4微米之间通过交换放大光学器件。

3. 高对比度：最小密度区分

4. 吴差降到0.13克/厘米3。

5. 灵活的X射线能量：可交换X射线管。

6. 高稳定性：图像漂移（模糊）0.5微米或更小。

7. 3D数据分析：三维参数变化可以推断

8. 包括体积，表面积，中心的重力和方位的评价。