ALIO定制化控制运动位移台

ALIO Industries 的定制运动控制解决方案——满足原始设备制造商的独特要求

ALIO Industries 提供定制运动控制解决方案，可为原始设备制造商客户带来巨大价值。ALIO 专注于纳米精度应用，可以定制其核心解决方案以满足确切的客户需求，推动新的创新解决方案的发展。ALIO 会满足或超过规格定制化运动方案的可帮助客户成为行业翘楚。

笛卡尔龙门架

龙门机器人由安装在高架系统上的机械手组成，并允许在水平面上移动。

• XY行程200mm – 2000mm

• 加速度  1.5 – 3.5 G

• 线性分辨率  <5nm

•  双向重复性    小于+/-100NM

• 定位精 准度  ~<1.0µm

SNH 系列是高度可配置的龙门机器人设计，基于 ALIO 久经考验的标准平台，可根据客户的负载、吞吐量、精度、行程和预算进行调整。

客户可以从低至 100 毫米或高至 1 米以上的 XY 行程以及允许加速度高达 3.5G 的各种强大的驱动选项中进行选择。龙门架安装在花岗岩、钢或铝框架等刚性底板上，可实现 +/- 1.5µm 的卓 越精度。

实现如此高精度的一个关键因素是我们的“Yaw Compliance”选项——一个虚拟旋转轴，可以对小的角度偏差进行精确补偿，也可以用作实际的旋转轴，用于小的预期角运动。

将笛卡尔龙门架与可选自由度相结合，如 z 轴、旋转轴、（倒置）三脚架或混合六 您可能会在激光加工或增材制造/3D 打印等工业应用中发现我们的笛卡尔龙门架，在这些应用中，由于样品无法移动或非常大，因此需要高架运动。

空气轴承系统

ALIO Industries推出了6-D Nano Positioning®空气轴承运动系统，6-D指运动的6个维度；线性，直线度，平面度，俯仰，偏航和滚动。Nano Precision 指的是在 +/- 450 nm 水平或以下的性能证明文件。6-D Nano Precision® 是指在纳米级精度下运动的身体的所有 6 个自由度的性能证明文件。空气轴承系统适用于制造、检测/维修和计量等各种应用领域。ALIO Industries空气轴承运动系统，是一种用气浮导轨或空气轴承做支撑的精密运动装置，适用于下一代TRUE NANO®精密应用。空气轴承系统提供出色的定位性能，适用于高精度要求的应用。空气轴承系统适用于多个行业，包括光伏、半导体、喷墨沉积、光刻和光学检测等领域。

空气轴承系统产品特点：

• 零摩擦和无振动的平滑移动

• 速度稳定超高精度的移动

• 运动不产生颗粒，适用于无尘环境

• 轴承损耗低，表面不易损坏  

真空运动系统

它是顺应尖 端技术要求小规模工作的普遍趋势而开发的纳米级综合解决方案产品。

采用超低释气材料和涂层，以适应真空环境下的要求，这些材料具备低挥发性、低气体释放和良好的真空兼容性。通过对驱动器、控制器、轴承、反馈系统的精妙选材和对运动系统的出色设计，以完成高真空环境下的纳米精度位移。