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奥林巴斯半导体检测显微镜MX61L / MX61
- 品牌：日本奥林巴斯
- 型号： MX61L / MX61
- 产地：日本
- 供应商报价： 面议
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北京瑞科中仪科技有限公司
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企业性质
入驻年限第9年
营业执照
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- 详细介绍
产品介绍：
半导体检测显微镜MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半导体检查显微镜通过各种观察方法--明视场法、暗视场法、微分干涉法（DIC）、荧光法、红外线法和深紫外线法，优秀的光学系统保证了卓 越的图像分辨率和鲜明度。向您推荐的最 好的半导体检测显微镜。
在对比度的决定上起重要作用的孔径光阑（AS）的开闭调节，与物镜的切换和观察模式连动，用一个按钮就可以操作。此外，用一个手指就可以调光的旋钮也配置在前面板上，从而提高了检查速度。物镜和孔径光阑（AS）的按钮分别斜向配置，手不离开对焦手柄，只要轻动大拇指就可以操作。这个按钮的倾斜式设计提高了手指尖的感知度，能够防止错误操作。
前面板
[1] 照明强度旋钮
[2] 物镜倍率切换
[3] 孔径光阑调节观察姿势迅速到位的倾斜镜筒
倾斜镜筒示意图
为了适应视点而调整座椅的高度，或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间，降低工作速度。但是，配备倾斜角度为0°～42°（可变高度为150 mm，SEMI S8对应）的倾斜镜筒，可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势，甚至可以站立检查。此外，这一款镜筒拉长了从观察中心轴到观察者视点的距离，可以在较大的平台上轻松操作。
高灵敏度载物台可以迅速决定位置
对应300 mm晶圆／17英寸面板的MX-SIC1412R2载物台有较大的透射照明范围（Y方向284 mm）。另外，内置离合器的载物台手柄，可切换粗调和微调。在显微镜观察的同时能自由地移动载物台，快速完成检查。
内置离合器的载物台手柄
瑞科中仪向您推荐的奥林巴斯显微镜具有鲜明图像和卓 越的分辨率为特点的光学系统多种选择，可实现卓 越的成像性能 。物镜是观察样品的照明和观察的重要部件，奥林巴斯有应对多种多样的观察方法、长工作距离、红外光及LCD检查用的齐全的物镜产品阵容可供选择。丰富的产品阵容，可按需选择MPLAPON平场复消色差透镜MPLFLN平场半复消色差透镜MPLFLN-BD明暗视场用平场半复消色差透镜MPLFLN-BDP反射偏振光用平场半复消色差透镜LMPLFLN长工作距离平场半复消色差透镜LMPLFLN-BD明暗视场用长工作距离平场半复消色差透镜MPLN平场消色差透镜MPLN-BD明暗视场用平场消色差透镜SLMPLN超长工作距离平场消色差透镜LCPLFLN-LCD液晶长工作距离平场半复消色差透镜半导体／FPD检查显微镜 规格MX61LMX61光学系统UIS2光学系统（无限远校正）机身观察方法明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光反射/透射反射/透射照明装置机身一体型（明视场，暗视场＋1选件）照明系统反射照明100 W卤素/100 W水银/75 W氙透射照明纤维光导对焦单元电动/手动手动行程32 mm分辨率/微调灵敏度微调旋钮转动1周移动0.1 mm最 大样本高度30 mm物镜转换器电动型明视场微分干涉6孔明暗视场微分干涉5孔明暗视场微分干涉6孔明暗视场微分干涉中心输出5孔手动式-载物台行程14×12英寸右下手柄：
356（X）×305（Y）mm
（透射照明范围356×284 mm）8×8 英寸右下手柄：
210（X）×210（Y）mm
（透射照明范围189×189 mm）
6×6 英寸右下手柄：
158（X）×158（Y）mm观察筒广角视场
（视场数22）倒置双目/三目观察筒正像三目观察筒超宽视场
（视场数26.5）倒置三目观察筒正像倾斜三目观察筒附件单元DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载外形尺寸710（W）×843（D）×507（H）mm
（标准组合）509（W）×843（D）×507（H）mm
（标准组合）重量51 kg（标准组合）40 kg（标准组合）- 产品优势
- 半导体检测显微镜MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半导体检查显微镜通过各种观察方法--明视场法、暗视场法、微分干涉法（DIC）、荧光法、红外线法和深紫外线法，优秀的光学系统保证了卓越的图像分辨率和鲜明度。向您推荐的最好的半导体检测显微镜。
