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德国布鲁克 Bruker CP-4 机械测试仪 TriboLab CMP
- 品牌：德国布鲁克
- 型号： TriboLab CMP
- 产地：德国
- 供应商报价： 面议
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布鲁克纳米表面仪器部
更新时间：2023-08-07 11:56:12 -
企业性质生产商
入驻年限第4年
营业执照已审核
- 同类产品摩擦磨损试验机(3件)
联系方式：布鲁克400-8226768
联系我们时请说明在仪器网（www.yiqi.com）上看到的!
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产品介绍：
TriboLab CMP
TriboLab CMP 利用其前身产品 （Bruker CP-4） 超过 20 年的 CMP 领域专业知识，为业界领先的 TriboLab 平台带来了一套完整的功能。基于本套设备产生的高精度和高可重复性使得在整个 CMP 流程中能够进行高效的鉴别、检查和连续功能测试。TriboLab CMP 是市场上唯 一能够提供广泛的抛光压力 （0.05-50 psi）、速度（1 至 500 rpm）、摩擦、声发射和表面温度测量的工艺开发工具，可准确、完整地描述 CMP 工艺和耗材。
无与伦比小规模研发系统中的 ROI此台式工具可再现全尺寸晶圆抛光工艺条件，而无需在生产设备上停机。灵活参数控制允许量身定制的测试，以加快材料开发，并精确优化流程。专家应用和支持我们与大型安装基地合作多年，为您的实验室提供专业知识。用于 CMP 的小型研发规模专业系统
布鲁克的TriboLab CMP工艺和材料表征系统是专为晶圆抛光工艺而设计，是具有可靠、灵活和高效的台式设备。
重现全尺寸晶圆抛光工艺条件，无需在生产设备上停机
提供无与伦比的测量可重复性和细节检测
允许在小样品上进行测试，比全晶圆测试节省大量成本
板载诊断系统可以更好地了解抛光过程
比市场上任何其他系统提供更多的瞬态抛光过程的参数
从接触抛光盘开始直至整个测试过程都能收集数据
通过更完整、更详细的数据实现早期流程开发决策
在 TriboLab CMP 测试仪上测试调节盘。测试标识两组抛光盘。摩擦系数测试与抛光盘磨损相关。
具有灵活的样品类型、尺寸和安装配置
抛光任何平面材料，几乎能使用任何修正盘，任何抛光液，和任何抛光垫
轻松使用 100 mm 以下的小尺寸晶圆
可同时安装多个样品，测试更灵活
用于抛光盘测试的 CMP 测试仪的示意图。- 产品优势
- 提供最广泛的参数和工况模拟灵活性，用于精确和全面表征CMP过程及相关耗材
| 仪器分类: | 线性 | 轴数: | 单轴 |
