上海三研 SYDC-100N 氮气保护型浸渍提拉镀膜机

上海三研 SYDC-100N型

氮气保护浸渍提拉镀膜机

一.产品应用

        本产品主要用于在氮气气氛保护下，采用溶胶-凝胶法等液相法制备薄膜材料。把洁净干燥的基片浸入溶液（溶胶）中，通过预先设置的参数，将浸渍后的基片以一定速度垂直提拉起来。在基片上附着一层膜，称为 “湿凝胶膜”，随着“湿凝胶膜”膜层中溶剂的挥发，膜层在基片上固化成为“干凝胶膜”。“干凝胶膜”经过进一步的干燥及高温热处理便得到所需的纳米薄膜材料。膜层厚度由提拉速度，液体浓度和液体粘度决定。

二.产品简介

        浸渍提拉镀膜机是是专门为氮气气氛保护下的液相法（特别是sol-gel法）制备薄膜材料的研究工作而设计。垂直提拉机构置于密闭箱体内，箱体侧壁设有氮气进口及压力控制系统。镀膜时，将溶液放入箱体内，基片加持在垂直提拉机构上，将氮气充满箱体（氮气的充入量可通过控制箱体内的湿度来调节），设置镀膜参数后即可在氮气气氛的保护下对溶液进行提拉镀膜。

        适用于膜层易氧化、对湿度敏感的薄膜材料。还可充入氩气等惰性气体。

        提拉速度、提拉高度、浸渍时间、镀膜次数（多次多层镀膜）、镀膜间隔时间均连续可调、精密控制。对镀膜基质无特殊要求，片状、块状、圆柱状等均可镀膜。运行稳定、工作时液面无振动，可极大提高实验精度与实验效率。

        适用于硅片、晶片、玻璃、陶瓷、金属等所有固体材料表面涂覆工艺。应用于科学研究、产品生产。

三.产品特点

        1.精密的垂直提拉装置。最近升级为瑞士原装进口的垂直提拉装置部件，采用特种功能材料制作，具有精密度高、传动无间隙、运行平滑、耐腐蚀、终身免维护、使用寿命长等特点。

        2.采用伺服电机驱动。配合瑞士原装进口的垂直提拉装置和程序控制系统，确保运行精度及稳定性，已达到完全消除提拉震动的效果，确保涂膜均匀。

        3.多参数全自动程序控制。共有六个参数设置：下降速度、浸渍时间、提拉速度、镀膜尺寸、镀膜次数、镀膜间隔时间，各参数均连续可调，精密控制。镀膜程序设定后，从下降到浸渍，再到提拉镀膜的整个镀膜过程全自动运行。

        4.镀膜程序设定后，从下降到浸渍，再到提拉镀膜的整个镀膜过程全自动运行。

        5.高、低速均运行平稳，镀膜时液面无振动，使膜层更均匀、无条纹。

        6.采用4.3英寸液晶触摸屏使控制更方便。运行时，各项参数实时显示，更直观了解镀膜进程。

        7.上下两端均安装有限位传感器，提拉或下降运行时，到限位处自动停止，避免提拉或下降的超限运行。

        8.采用独特设计的平口型夹具，两面均匀夹持样片，不会夹坏样片。

        9.高精度氮气传感器。以及独有的氮气节约装置，氮气消耗量非常低。

四.技术参数

        1.提拉速度范围：1～6000 μm/s，最小分辨率1μm/s；

        2.速度精度：-0.02%～+0.02%

        3.提拉行程：约120 mm（以实际为准）

        4.适用基片尺寸：MIN 10×10 mm，MAX 100×100 mm，厚度MAX 10mm；

        5.浸渍时间：1～3600 s，最小分辨率1s；

        6.循环次数：1～1000次，最少1次；

        7.每次循环间隔时间：1～3600 s，最小分辨率1s；

        8.湿度控制范围：1%～60%RH，最小可调1%RH；

        9.湿度精度：±3%

        10.温度显示范围：-9℃～99℃

        11.电源：220V/50Hz