成都真空设备厂家 半导体制程PVD沉积台 电阻蒸发 电子束蒸发 离子源辅助清洗 辅助沉积 可定制
美国Neocera PLD 脉冲激光沉积系统 P180 & PED 脉冲电子束沉积系统 PED-18
成都真空设备厂家 Research-电子束蒸发镀膜机 电阻 电子束 电阻电子束复合镀膜 可定制
电子束蒸发系统
粉末电阻测定仪
日本Elionix 电子束曝光电子束直写机ELS-F125
●本装置使用电阻蒸发、电子束蒸发和离子源辅助清洗、辅助沉积和原位刻蚀进行复合，用于制备特种薄膜，薄膜具有均匀性、附着力、抗损伤、低颗粒物污染等特点，是半导体制程中关键工序的核心装备，其技术长期被美国、日本等国技术巨头所垄断，属于国内卡脖子装备，也是制约国内半导体领域自主可控的关键设备，该设备的技术突破和产业化对国内半导体产业发展具有积极意义。
报价：￥1000000
已咨询211次电阻电子束沉积
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已咨询190次电阻电子束沉积
报价：面议
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完善的射频和离子源控制系统；快速达到放电稳定状态（10s以内）；中和器快速稳定（3s以内）；在导轨上移动，移动距离大于3米；法兰安装方便；配射频中和器。
北京华纳微科技有限公司自我研发的国产离子源型号LBT87150完全替代进口FEI17135离子源，保证使用寿命超过1000小时，另有配套的拔出极和抑制极以及光阑等都可以在FEI的FIB上替代进口产品使用，经客户反馈使用效果佳，性价比良好。华纳微自主研发的扫描电镜扫描速率可以达到200M每秒，是普通SEM的10倍。同时经营二手场发射扫描电子显微镜、二手电镜、二手FIB、二手SEM、二手FEM等，专业维修FEI电镜、维修ZEISS电镜等。
北京华纳微科技有限公司自我研发的国产离子源型号LBT87150完全替代进口FEI17135离子源，保证使用寿命超过1000小时，另有配套的拔出极和抑制极以及光阑等都可以在FEI的FIB上替代进口产品使用，经客户反馈使用效果佳，性价比良好。华纳微自主研发的扫描电镜扫描速率可以达到200M每秒，是普通SEM的10倍。同时经营二手场发射扫描电子显微镜、二手电镜、二手FIB、二手SEM、二手FEM等，专业维修FEI电镜、维修ZEISS电镜等。 公司成立以来，一直秉承着让中国人用得起电子显微镜，使用好的电子显微镜的理念。降低设备的运行成本，提高电子显微镜以及FIB的技术性能，揭开电子显微镜以及FIB的神秘面纱，普及电子显微镜以及FIB设备的知识。我们提供定制化设计服务，根据客户使用的要求，开发特殊的电镜。我们不仅提供二手电镜整机，也提供各种部件，可以拆解部件出售，各种电子枪、离子枪、样品台、减震台、探测器、控制器等。
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