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成都真空设备厂家 surpass大口径干法刻蚀机装备 大口径 高均匀性特殊微纳结构 基片刻蚀 可定制
- 品牌:成都超迈光电
- 型号: CM-014
- 产地:成都
- 供应商报价: ¥ 1000000 (市场参考价:¥ 1200000)
- 成都汉普升科技有限公司 更新时间:2023-11-14 15:45:50
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企业性质生产商
入驻年限第2年
营业执照已审核
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- 详细介绍
●Surpass系列 干法刻蚀机,特别适合于大口径、高均匀性和有特殊微纳结构的基片刻蚀,刻蚀尺寸可达φ2500mm,通过高密度等离子体及离子浓度修正系统,可达到基片有效刻蚀区域内均匀性较高的技术指标,满足大口径基片刻蚀的需求。
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