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等离子体辅助原子层沉积系统 PEALD
- 品牌:美国ANRIC
- 型号: AT-400
- 产地:美国
- 供应商报价: 面议
- 科睿设备有限公司 更新时间:2023-06-26 10:47:00
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企业性质生产商
入驻年限第5年
营业执照已审核
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联系方式:张经理021-56035615
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- 详细介绍
※ 广泛应用于光学薄膜、铜互连、MEMS、TSV、高k介质 层、金属栅电极(metal gate)等应用。
※ 原子级别的薄膜沉积。
※ 沉积参数高度可控性:厚度、成分和结构。
※ 优异的薄膜均匀性和一致性。
※ 薄膜台阶覆盖率高
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