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金属有机化合物化学气相沉积
- 品牌:美国Rocky Mountain
- 型号: MOCVD
- 产地:美国
- 供应商报价: 面议
- 科睿设备有限公司 更新时间:2023-06-26 10:47:00
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企业性质生产商
入驻年限第5年
营业执照已审核
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- 详细介绍
※ 应用方向:氧化物、氮化物、碳化物、二维硫族化合物 等。
※ MOCVD系统使用固体、液体金属有机源,在不同衬底上沉 积氧化物 氮化物 III-V族和II-VI族膜层。
※ 1~4英寸MOCVD系统。
※ 专为满足科研单位需求而设计。
※ MOCVD配有前驱体直接处理单元,用于外延材料的研发 和制备。
※ MOCVD腔室中的红外灯加热系统可实现在线退火工艺。
※ 高性价比,满足多种应用需求。
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