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金属有机化合物化学气相沉积价格：面议- 品牌： 美国Rocky Mountain
- 型号：MOCVD
- 产地：美国
※ 应用方向：氧化物、氮化物、碳化物、二维硫族化合物 等。 ※ MOCVD系统使用固体、液体金属有机源，在不同衬底上沉 积氧化物 氮化物 III-V族和II-VI族膜层。 ※ 1
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等离子体辅助原子层沉积系统 PEALD价格：面议- 品牌： 美国ANRIC
- 型号：AT-400
- 产地：美国
※ 广泛应用于光学薄膜、铜互连、MEMS、TSV、高k介质 层、金属栅电极（metal gate）等应用。 ※ 原子级别的薄膜沉积。 ※ 沉积参数高度可控性：厚度、成分和结构。&
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脉冲激光沉积系统价格：面议- 品牌： 美国PVD
- 型号： PLD
- 产地：美国
※ 适用于沉积多种难以制备的薄膜，如高温超导薄膜、陶瓷 氧化物薄膜、多层金属薄膜等。 ※ 沉积速率高。 ※ 可以精密控制薄膜厚度和成分。 ※ 衬底温度要求低。
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电子束蒸发系统价格：面议- 品牌： 美国PVD
- 型号：E-Beam Evaporator System
- 产地：美国
※ 主要应用于微电子、光电子、攻率器件、声表器件、射频 器件、先进封装（TSV）、MEMS、光学、材料研究等应 用中金属介质薄膜的沉积。 ※ 蒸发源：电子枪、热蒸发电阻或同时配置电子枪和热
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磁控溅射系统价格：面议- 品牌： 美国Nano-Master
- 型号：Sputter System
- 产地：美国
※ 主要应用于微电子、光电子、攻率器件、声表器件、射频 器件、先进封装（TSV）、MEMS、光学、材料研究等应 用中金属介质薄膜的沉积。 ※ 多靶直流/射频磁控溅射。※ 共焦溅射或垂直溅射
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