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磁控溅射系统
- 品牌:美国Nano-Master
- 型号: Sputter System
- 产地:美洲 美国
- 供应商报价:面议
- 科睿设备有限公司 更新时间:2024-09-02 11:58:32
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销售范围售全国
入驻年限第9年
营业执照已审核
- 同类产品真空镀膜及刻蚀设备(5件)
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详细介绍
※ 主要应用于微电子、光电子、攻率器件、声表器件、射频 器件、先进封装(TSV)、MEMS、光学、材料研究等应 用中金属介质薄膜的沉积。
※ 多靶直流/射频磁控溅射。
※ 共焦溅射或垂直溅射可选。
※ 上溅射或下溅射可选。
※ 旋转工件台,可升级为射频偏压工件台。
※ 最 大可处理直径12英寸工件盘。
※ 选配工件台大角度倾斜功能。
※ 选配离轴磁控溅射靶枪。
※ 选配离子束刻蚀功能。
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