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NSC-1000磁控溅射系统 那诺-马斯特 磁控溅射镀膜厂家
- 品牌:美国那诺-马斯特
- 型号: NSC-1000
- 产地:美国
- 供应商报价: 面议
- 那诺—马斯特中国有限公司 更新时间:2024-04-23 10:17:06
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企业性质生产商
入驻年限第3年
营业执照已审核
- 同类产品磁控溅射系统(10件)
- 标签: 磁控溅射 磁控溅射镀膜机 磁控溅射设备 磁控溅射镀膜设备
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- 详细介绍
NSC-1000磁控溅射系统概述:带有水冷或者加热(可加热到700度)功能,可达6"旋转平台,支持到2个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。
NSC-1000带有10”派热克钟罩腔体,2个2”的磁控管,DC直流电源用于溅射金属,并带有膜厚监测仪(选配)。由于NSC-1000的空间有限,我们不能在NSC-1000系统上提供更多的电源和磁控管。我们可以提供我们的NSC-1000系统,用于SEM应用,也可以用于溅射金属到z大6”的晶圆片。
NSC-1000磁控溅射系统产品特点:
不锈钢,铝质腔体或钟罩式耐热玻璃腔
70l/s的涡轮分子泵,串接机械泵或干泵
1KW DC直流电源
晶振夹具具有的<1 A的厚度分辨率
带观察视窗的腔门易于上下载片
基于LabView软件的PC计算机控制
带密码保护功能的多级访问控制
完全的安全联锁功能
选配项:
Thickness Monitor 膜厚监测
应用:
SEM应用
溅射金属,可达6"的晶圆片
- 产品优势
- 带有水冷或者加热(可加热到700度)功能,可达6“旋转平台,支持到2个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。
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