离子溅射仪 NSC-3000（M）磁控溅射系统 那诺-马斯特
NSC-3000（M）磁控溅射系统概述：带有水冷或者加热(可加热到700度)功能，可达6"旋转平台，支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵，极限真空可达10-7 Torr，15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离，可以获得想要的均匀度和沉积速度。
NSC-3000带有12”派热克钟罩腔体，2个2”的磁控管，DC直流和RF射频电源。 在选配方面，我们提供不锈钢腔体，260 l/s涡轮分子泵，额外的磁控管和衬底加热功能。
NSC-3000（M）磁控溅射系统产品特点：
不锈钢，铝质腔体或钟罩式耐热玻璃
70，250或500 l/s的涡轮分子泵，串接机械泵或干泵
13.56MHz，300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源
晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率
带观察视窗的腔门易于上下载片
基于LabView软件的PC计算机控制
带密码保护功能的多级访问控制
完全的安全联锁功能
选配项：
不锈钢腔体
RF、DC溅射
RF或DC偏压（1000V）
样品台可加热到700°C
膜厚监测仪
基片的RF射频等离子清洗
预真空锁以及自动晶圆片上/下载片
应用：
晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆
光学以及ITO涂覆
带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆
带RF射频等离子放电的反应溅射
上传人：那诺—马斯特中国有限公司
大小：0 B
2031
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LJ-16离子溅射仪是专用于扫描电镜（SEM）的样品喷金镀膜系统，能够极为有效的提高电镜观测效果。 操作简便，性能优越，质量稳定，功能丰富
108离子溅射仪是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。 描述 108离子溅射仪是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。 主要特性 l 通过GX低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。 l 操作容易快捷，控制的参数包括放气以及氩气换气控制。 l 可用MTM-10高分辨膜厚控制仪（选件）精确测定所镀膜的厚度。 l 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和ZJ的镀膜效果。 可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。
整体含溅射主机和真空系统组成，溅射靶头被设置成为一个二级溅射结构，通过均匀恒定的电场激发并电离气体分子，形成稳定的辉光放电现象，被电离的离子和电子在这个电场下进行加速，从而使靶原子逃离靶材表面在样品上面形成纳米涂层 配套世界主流扫描电子显微镜厂家： 热电（美国原荷兰）FEI钨丝阴极、场发射、飞纳台式等各类型电子显微镜，蔡司（德国）钨丝阴极、场发射各系列的扫描电子显微镜，JEOL（日本电子）各类电镜，日立（日本）各系列电镜、台式电镜，TESCAN泰斯肯（捷克）各系列电镜，还有如韩国“赛科”、COXEM库赛姆、MIRERO等电镜品牌及所有需要样品前期处理，提高成像质量、增强导电性能等表面镀膜处理的样品制备工作。
全自动真空离子溅射仪喷金仪 直流溅射镀膜导电处理优势看得见：全自动微电脑控制，更智能； 专利技术，1 0秒更换靶材； 样品台内置高度调节功能，1秒即可调节； 内置1 0步操作向导，5分钟即可熟练使用设备；
全自动真空离子溅射仪喷金仪 磁控溅射镀膜导电处理优势看得见：全自动微电脑控制，更智能； 专利技术，1 0秒更换靶材； 样品台内置高度调节功能，1秒即可调节； 内置1 0步操作向导，5分钟即可熟练使用设备；
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