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- 品牌: 美国那诺-马斯特
- 型号:LSC-4000
- 产地:美国
Nano-Master兆声大基片湿法刻蚀系统提供高可重复性、高均匀性及的兆声清洗、兆声辅助下光刻胶剥离。它是集成式的一体化系统,可以在一个工艺步骤中包含了的无损兆声清洗、化学试剂清洗、刷子清洗以及干燥...
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- 品牌: 美国那诺-马斯特
- 型号:LSC-5000
- 产地:美国
LSC-5000全自动兆声大基片湿法去胶系统:Nano-Master兆声大基片湿法刻蚀系统提供高可重复性、高均匀性及的兆声清洗、兆声辅助下光刻胶剥离,以及湿法刻蚀。该系统为全自动机械手上下载片,可以在...
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大基片清洗/去胶/湿法刻蚀解决方案
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兆声晶圆清洗技术应用
兆声晶圆(掩模版)清洗机:Nano-Master兆声单晶圆及掩模版清洗机提供高可重复性、高均匀性及兆声清洗。它可以在一个工艺步骤中包含了的无损兆声清洗、化学试剂清洗、刷子清洗以及干燥功能。兆声晶圆(掩...
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兆声晶圆清洗技术应用
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大基片清洗/去胶/湿法刻蚀产品文章
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兆声清洗技术原理、优势及应用
1 兆声清洗技术背景Schwartzman等人,1993在SC1、SC2清洗时使用了兆频超声技术,获得前所未有的清洗效果,使得该方法在清洗工艺中被广泛采用,也引发了对超声波增强清洗效果的规律与机理的研...
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单片晶圆清洗机的详细资料概述
单片晶圆清洗机是一款带有小占地面积的理想设备,并且很容易安装在空间有限的超净间中。该系列设备都具有出众的清洗能力,并可用于非常广泛的基片。单片晶圆清洗机提供了可控的化学试剂滴胶能力,这使得颗粒从基片表...
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兆声清洗技术原理、优势及应用
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仪企号那诺—马斯特中国有限公司
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