1. 易获得期望化学计量比的多组分薄膜,即具有良好的保成分性; 2. 沉积速率高,试验周期短,衬底温度要求低,制备的薄膜均匀; 3. 工艺参数任意调节,对靶材的种类没有限制; 4. 发展潜力巨大...
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