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- 品牌: 美国那诺-马斯特
- 型号:NMC-4000(A)
- 产地:美国
针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分...
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MOCVD金属有机化合物化学气相沉积
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仪企号那诺—马斯特中国有限公司
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