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MOCVD设备

 
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MOCVD设备 NMC-4000(A)全自动PAMOCVD系统 那诺-马斯特
  • 品牌: 美国那诺-马斯特
  • 型号:NMC-4000(A)
  • 产地:美国
  • 针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分...

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