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- 品牌： 美国那诺-马斯特
- 型号：NRE-3000
- 产地：美国
PC控制的RIE刻蚀PE刻蚀系统，淋浴头气体分布装置以及水冷RF样品，不锈钢柜子及13“的上盖式圆柱形铝腔,便于晶圆片装载.腔体有两个端口:一个带有2“的视窗,另一个空置用于诊断.该系统可以支持Z大到...
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- 品牌： 美国那诺-马斯特
- 型号：NRE-3500
- 产地：美国
PC控制的RIE刻蚀PE刻蚀一体机，淋浴头气体分布装置以及水冷RF样品，不锈钢柜子及13“的上盖式圆柱形铝腔,便于晶圆片装载.腔体有两个端口:一个带有2“的视窗,另一个空置用于诊断.该系统可以支持Z大...
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- 品牌： 美国那诺-马斯特
- 型号：NRE-4000
- 产地：美国
提供PC控制的PE刻蚀RIE刻蚀一体机，配套有淋浴头气体分布装置以及水冷RF样品.具有不锈钢柜子以及13“的上盖式圆柱形铝腔,便于晶圆片装载.腔体有两个端口:一个带有2“的视窗,另一个空置用于诊断.该...
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RIE-PE刻蚀机产品文章
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RIE刻蚀之NRE-4000型RIE-HCP系统
NANO-MASTER NRE-4000 型RIE-HCP系统，用于高速刻蚀硅、SiO2和Si3N4基片，通过配套HCP高密度中空阴极等离子源，系统可以支持RIE和RIE-HCP 应用，提供广泛的应用...
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RIE刻蚀之NRE-4000型RIE-HCP系统
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仪企号
那诺—马斯特中国有限公司
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