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那诺—马斯特中国有限公司
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那诺—马斯特中国有限公司
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- 品牌：美国那诺-马斯特
- 型号：NRE-4000（ICPM）
- 产地：美洲 美国
NRE-4000（ICPM）ICP刻蚀机：是带ICP等离子源和偏压样品台的高速刻蚀系统，系统可以达到高速率、低损伤、高深宽比的刻蚀效果。可实现范围广泛的刻蚀工艺，包括刻蚀III-V化合物（如GaAs，...
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- 品牌：美国那诺-马斯特
- 型号：NDR-4000（M）
- 产地：美洲 美国
NDR-4000（M）DRIE深反应离子刻蚀：是带低温晶圆片冷却和偏压样品台的深硅刻蚀系统，带8“ ICP源。系统配套500L/S抽速的涡轮分子泵，可以使得工艺压力达到几mTorr的水平。在低温刻蚀的...
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- 品牌：美国那诺-马斯特
- 型号：NRE-4000（ICPA）
- 产地：美洲 美国
自动上下载片，带ICP等离子源和偏压样品台的高速刻蚀系统，系统可以达到高速率、低损伤、高深宽比的刻蚀效果。可实现范围广泛的刻蚀工艺，包括刻蚀III-V化合物（如GaAs，InP，GaN，InSb）、I...
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- 品牌：美国那诺-马斯特
- 型号：NDR-4000（A）
- 产地：美洲 美国
全自动上下载片，带低温晶圆片冷却和偏压样品台的深硅刻蚀系统，带8“ ICP源。系统配套500L/S抽速的涡轮分子泵，可以使得工艺压力达到几mTorr的水平。在低温刻蚀的技术下，系统可以达到硅片的高深宽...
沪公网安备 31011502008050号