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那诺—马斯特中国有限公司
主营产品:薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备及太空模拟测试设备等

双腔体真空工艺系统

 
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那诺-马斯特 双腔体真空工艺系统
  • 品牌: 美国那诺-马斯特
  • 型号:双腔体真空工艺系统
  • 产地:美国
  • NANO-MASTER支持两个系统的任意组合。在产品册上可找到的ALD,溅射,蒸镀,离子铣或IBE,RIE,PECVD等均可以配置为双系统。通过共享真空系统和可能的离子源电源,成本得以下降。腔体通过门...

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