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那诺-马斯特 双腔体真空工艺系统价格:面议
- 品牌: 美国那诺-马斯特
- 型号:双腔体真空工艺系统
- 产地:美国
NANO-MASTER支持两个系统的任意组合。在产品册上可找到的ALD,溅射,蒸镀,离子铣或IBE,RIE,PECVD等均可以配置为双系统。通过共享真空系统和可能的离子源电源,成本得以下降。腔体通过门...
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仪企号那诺—马斯特中国有限公司
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NANO-MASTER支持两个系统的任意组合。在产品册上可找到的ALD,溅射,蒸镀,离子铣或IBE,RIE,PECVD等均可以配置为双系统。通过共享真空系统和可能的离子源电源,成本得以下降。腔体通过门...