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那诺-马斯特 Platens样品台价格:面议
- 品牌: 美国那诺-马斯特
- 型号:Platens样品台
- 产地:美国
Platens样品台,又称为基板或加热板,是真空镀膜设备中常用到关键部件。因此样品台可以整合到RIE刻蚀、ICP刻蚀、PECVD、ALD等刻蚀和沉积设备中,给晶圆等样片进行均匀加热和冷却处理,为微纳米...
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仪企号那诺—马斯特中国有限公司
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Platens样品台,又称为基板或加热板,是真空镀膜设备中常用到关键部件。因此样品台可以整合到RIE刻蚀、ICP刻蚀、PECVD、ALD等刻蚀和沉积设备中,给晶圆等样片进行均匀加热和冷却处理,为微纳米...