离子溅射仪

官网：www.tianzeler.ltd

天泽智能科技发展（天津）有限责任公司

1.显示操作面为30°斜面，充分考虑操作的便捷和视觉体验，方便观察操作；

2.真空泵连接管路为金属波纹管，美观耐用；

3.微调阀调节灵敏准确，带有刻度标识；

4.真空泵抽速快，噪音低，适合实验室使用；

5.控制电路为控制板，工作稳定可靠；

6.显示控制操作部分布局合理，位于同侧，使用方便；

7.结构简单可靠，布局合理，维修操作空间大；

8.采用定制“凹”密封，更加方便操作。

21. 石英处理室：

Φ150mm,高度110mm;

Φ108mm,高度135mm;

21. 溅射类型：（选一）

1.冷阴极磁控型二级溅射；

2.高压直流二级溅射

3.高压直流二级溅射升级版

21. 试样台尺寸：Φ40-150mm,样品杯插孔19-61个可选；

22. 样品更换：设有支撑结构，上盖打开可独立支撑，

23. 金靶尺寸：Φ50或φ57mm;

24. 真空系统：静音直联旋片真空泵2L/S；

25. 真空检测：定制皮氏计，配合真空指针表，灵敏可靠；

26. 真空保护：20pa配有微量充气阀调节工作真空；

27. 真空泄压：自动进排气（无需手动放气阀）。

28. 电路保护：过载保护

29. 工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气专用进气口和微量充气节；

    桌面型热蒸发镀碳仪：
    

30. 

 新型磁控低温离子镀膜仪

      电子在电场的作用下，飞向基片过程中与气体原子发生碰撞，使其电离产生出气体正离子和新的电子；新电子飞向基片，离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜，而产生的二次电子借助于靶表面上形成的正交电磁场，被束缚在靶表面特定区域，增强电离效率，增加离子密度和能量，从而实现高速率溅射。

主要应用：

适用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜（金膜、铂金、银、镍、铜等），仪器操作简单方便，是配合各类型扫描电子显微镜制样必备的仪器。是制备低维度，小尺寸纳米材料器件的必备实验手段，广泛应用于集成电路，光子晶体，低维半导体、微生物、超微膜材料等领域。

配套世界主流扫描电子显微镜厂家：

热电（美国原荷兰）FEI钨丝阴极、场发射、飞纳台式等各类型电子显微镜，蔡司（德国）钨丝阴极、场发射各系列的扫描电子显微镜，JEOL（日本电子）各类电镜，日立（日本）各系列电镜、台式电镜，TESCAN泰斯肯（捷克）各系列电镜，还有如韩国“赛科”、COXEM库赛姆、MIRERO等电镜品牌及所有需要样品前期处理，提高成像质量、增强导电性能等表面镀膜处理的样品制备工作。

服务承诺

1.  质保期限：

到货之日起，为期一年。

2.  安装调试：

（1.）提供视频安装资料，电话和微信远程指导安装和调试。

（2.）上门安装调试（需协商）

3.  可提供的服务方式：

热线应答：由专业工程师通过沟通、帮助、指导、解决、排除故障
现场服务：由工程师在最短的时间内到达，以最快的方式排除故障。（需协商）
人性化服务：尊重以人为本的服务理念，提供超过客户期望值的服务。
远程服务：在客户授权的前提下，通过互联网远程指导技术人员在客户现场处理。
定期巡检服务：不定期由公司领导和ZS工程师带队，对客户进行巡检，广泛征求意见以求客户满意化。

4.  包装及运输方式：

1.包装：满足QB／BWD008-2001之要求的运输包装箱

2.输方式：公路货运物流

升级型                                                                             低温磁控型