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AURORA 离子溅射仪

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详细介绍

品牌介绍

欧波同有限公司是ZG领先的微纳米技术服务供应商,是一家以外资企业作为投资背景的高新技术企业,总部位于香港,分别在北京、上海、广州、鞍山、济南、西安、成都等地设有分公司和办事处。作为蔡司电子显微镜及韩国COXEM台式扫描电镜产品在ZG地区最重要的战略合作伙伴,公司秉承“打造国内zui具影响力的仪器销售品牌”的经营理念,正在为数以万计的ZG用户提供高品质的产品与国际jian端技术服务。


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品牌:欧波同

型号:Luminous-S1

该产品是一款二极直流离子溅射仪,应用于扫描电子显微镜样品处理、电极研究表面处理等领域。该产品安全性高,触屏控制,过程参数可视,内置操作向导,操作简单方便。


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品牌:欧波同

型号:Aurora-S1

该产品是一款磁控离子溅射仪,应用于扫描电子显微镜样品处理、电极研究表面处理等领域,膜层均匀,磁控溅射,对样品损伤小。

该产品安全性高,触屏控制,过程参数可视,内置操作向导,操作简单方便。


型号:Luminous-S1

技术指标
1、电源: 220V/50 Hz
2、尺寸:424 x 271 x 255 mm
3、溅射电压:2400V
4、zui大功率:500W
5、靶材尺寸:57×0.12 mm
6、真空泵:直连式两级旋片式真空泵(1L/s)
7、真空室(128×130mm)
8、极限真空:≤1Pa(电阻式真空规)
9、工作电流:2-30 mA任意可调


型号:Aurora-S1


技术指标
1、电源: 220V/50 Hz
2、尺寸:424 x 271 x 255 mm
3、溅射电压:600V
4、zui大功率:450W
5、靶材尺寸:57×0.12 mm
6、真空泵:直连式两级旋片式真空泵(1L/s)
7、真空室(128×130mm)
8、极限真空:≤1Pa
9、工作电流:5-45 mA任意可调


特点与用途

1 、安全性高

高压线多重防护,外加8×5透明真空管,jue对安全;

外壳良好接地;

真空互锁;

电流>50mA,真空度超过100Pa,系统自动切断溅射;

实体按键,jue对安全;

溅射头采用阻尼设计,任意位置悬停,防止伤手。


2、 操作方便

5英寸液晶屏,简洁明了;

zui多设置两个参数,即可开始工作;

Luminous-S1/ Aurora-S1设定参数后,系统自动调整,简单方便精度高,无需人工干预;

自动放气;

屏幕亮度可调节;

样品台高度1秒调节。


3 、过程参数可视

溅射过程中真空度和溅射电流以曲线方式实时显示,简单直观;

靶材使用时间,仪器使用时间系统自动记录,直观了解设备的运行状态。


4、内置操作向导

设备内置操作向导,在操作人员更换时,无需培训,即可快速熟练操作设备。

产品优势
该产品安全性高,触屏控制,过程参数可视,内置操作向导,操作简单方便。
解决方案
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