AURORA 离子溅射仪

品牌介绍

欧波同有限公司是ZG领先的微纳米技术服务供应商，是一家以外资企业作为投资背景的高新技术企业，总部位于香港，分别在北京、上海、广州、鞍山、济南、西安、成都等地设有分公司和办事处。作为蔡司电子显微镜及韩国COXEM台式扫描电镜产品在ZG地区最重要的战略合作伙伴，公司秉承“打造国内zui具影响力的仪器销售品牌”的经营理念，正在为数以万计的ZG用户提供高品质的产品与国际jian端技术服务。

品牌：欧波同

型号：Luminous-S1

该产品是一款二极直流离子溅射仪，应用于扫描电子显微镜样品处理、电极研究表面处理等领域。该产品安全性高，触屏控制，过程参数可视，内置操作向导，操作简单方便。

品牌：欧波同

型号：Aurora-S1

该产品是一款磁控离子溅射仪，应用于扫描电子显微镜样品处理、电极研究表面处理等领域，膜层均匀，磁控溅射，对样品损伤小。

该产品安全性高，触屏控制，过程参数可视，内置操作向导，操作简单方便。

型号：Luminous-S1

技术指标
1、电源： 220V/50 Hz
2、尺寸：424 x 271 x 255 mm
3、溅射电压：2400V
4、zui大功率：500W
5、靶材尺寸：57×0.12 mm
6、真空泵：直连式两级旋片式真空泵（1L/s）
7、真空室（128×130mm）
8、极限真空：≤1Pa（电阻式真空规）
9、工作电流：2-30 mA任意可调


型号：Aurora-S1

技术指标
1、电源： 220V/50 Hz
2、尺寸：424 x 271 x 255 mm
3、溅射电压：600V
4、zui大功率：450W
5、靶材尺寸：57×0.12 mm
6、真空泵：直连式两级旋片式真空泵（1L/s）
7、真空室（128×130mm）
8、极限真空：≤1Pa
9、工作电流：5-45 mA任意可调

特点与用途

1 、安全性高

高压线多重防护，外加8×5透明真空管，jue对安全；

外壳良好接地；

真空互锁；

电流＞50mA，真空度超过100Pa，系统自动切断溅射；

实体按键，jue对安全；

溅射头采用阻尼设计，任意位置悬停，防止伤手。


2、 操作方便

5英寸液晶屏，简洁明了；

zui多设置两个参数，即可开始工作；

Luminous-S1/ Aurora-S1设定参数后，系统自动调整，简单方便精度高，无需人工干预；

自动放气；

屏幕亮度可调节；

样品台高度1秒调节。


3 、过程参数可视

溅射过程中真空度和溅射电流以曲线方式实时显示，简单直观；

靶材使用时间，仪器使用时间系统自动记录，直观了解设备的运行状态。


4、内置操作向导

设备内置操作向导，在操作人员更换时，无需培训，即可快速熟练操作设备。