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ZB-YQ1700小型离子溅射仪

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详细介绍

此款小型离子溅射仪主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(金膜),仪器操作简单方便,是配合SEM 制样必备的仪器。设备配有微量充气阀调节工作真空,在 20Pa 真空保护。同时,配有专用进气口和微量充气调节装置,以方便空气或氩气等工作气体充入。

产品编号

ZB-YQ1700

产品名称

小型离子溅射仪

玻璃处理室

Φ100mm、高度130mm

试样台尺寸

Φ40mm可同时放6个样品杯

金靶尺寸

Φ58mm

真空系统

直联旋片真空泵2L/S

真空检测

皮氏计

真空保护

20Pa配有微量充气阀调节工作真空

工作气体

空气或氩气,配有氩气专用进气口和微量充气调节


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